[发明专利]一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法有效

专利信息
申请号: 201710930045.2 申请日: 2017-10-09
公开(公告)号: CN107557772B 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 王杰然 申请(专利权)人: 福建省飞阳光电股份有限公司
主分类号: C23C18/48 分类号: C23C18/48;C23C18/18;C03C17/10
代理公司: 泉州君典专利代理事务所(普通合伙) 35239 代理人: 陈晓艳
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 ito 表面 进行 化学 镀铜 镍合金 方法
【权利要求书】:

1.一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:包括以下步骤:脱脂→微蚀→活化→还原处理→化学镀铜镍合金→烘烤除氢,

活化:将经过微蚀处理的ITO玻璃置于钯活化剂中进行活化,活化后过水漂洗,其中,活化剂按照如下方法制备:将PdCl2、去离子水、浓盐酸混合加热制得到H2PdCl4溶液;向所述H2PdCl4溶液中加入二亚乙基三胺、氯化亚锡、氯化钾,在45-55℃下保持3-5h,蒸除溶剂后得到钯复合物;将钯复合物溶于N-甲基吡咯烷酮中得到钯复合物的NMP溶液,最后将钯复合物的NMP溶液与二乙二醇单乙醚、二缩水甘油醚丁烷混合,得活化剂;

化学镀铜镍合金:将经过还原处理的ITO玻璃置于PH=4-5、皮膜应力为±0的化学镀液中进行化学镀铜镍合金,之后将已经化学镀铜镍合金的ITO玻璃过水漂洗,其中,化学镀液的成分包括:NiSO4·6H2O:20-26g/L、CuSO4·5H2O:18-22g/L、NaH2PO2·H2O:16-20g/L、醋酸:27-33g/L、丙酸:10-14g/L、稳定剂:1.8-2.2mg/L;

所述稳定剂为乙酸铅或碘酸钾。

2.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述活化剂按照如下方法制备:将4.32-4.76nmol的PdCl2、40-60ml的去离子水、0.5-1.5ml的浓盐酸混合,在40-60℃下加热,得到H2PdCl4溶液;向所述H2PdCl4溶液中加入4.28-4.78nmol的二亚乙基三胺、2.02-2.45nmol的氯化亚锡、1.84-2.26nmol的氯化钾,在45-55℃下保持3-5h,蒸除溶剂后得到钯复合物;将钯复合物取6-10mg溶于5-15ml的N-甲基吡咯烷酮中得到钯复合物的NMP溶液,最后将钯复合物的NMP溶液与40-60ml的二乙二醇单乙醚、0.305-0.375ml的二缩水甘油醚丁烷混合,得活化剂。

3.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述脱脂包括:将ITO玻璃放在1.5-2.5mol/L的碱性溶液中进行浸渍处理,温度45-55℃,时间2-4min,然后分别放入热水和冷水清洗,碱性溶液包括以下成分:17-23g/L的NaHCO3、14-18g/L的KOH、18-22g/L的Na3PO4和2-6g/L的烷基酚聚氧乙烯醚、去离子水。

4.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述微蚀包括:将经过脱脂处理后的ITO玻璃放入酸性蚀刻剂中进行处理,温度常温,时间3-5min,然后过水漂洗,酸性蚀刻剂为4.5-5.5g/L的HCl。

5.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述还原处理包括:将经过活化处理的ITO玻璃置于还原剂溶液中进行处理,温度为45-55℃,时间2-4min,然后过水漂洗,还原剂溶液为12-18g/L的NaH2PO2·H2O。

6.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述烘烤除氢包括:将经过化学镀铜镍合金的ITO玻璃置于130-180℃的烤箱中烘烤25-35min,即得成品。

7.根据权利要求1所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述化学镀液的温度为75-90℃。

8.根据权利要求1或7所述的一种在ITO表面进行化学镀铜镍合金的方法,其特征在于:所述化学镀液的时间为4-6min。

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