[发明专利]沉积掩模、沉积装置及制造显示装置的方法

说明书

公开了沉积掩模、沉积装置及制造显示装置的方法，该沉积掩模包括第一区域、凹部区域和图案部分，其中：第一区域限定夹持部分，夹持部分位于沉积掩模的端部处并且被施加力以在沉积掩模的长度方向上使沉积掩模延伸；凹部区域与第一区域邻近并且限定位于端部处的凹部；图案部分包括沉积材料穿行经过的多个图案孔。沿着长度方向，多个第一图案部分布置在第一区域中以及多个第二图案部分布置在凹部区域中。施加的力使第一区域延伸，并且不使凹部区域延伸。力未施加限定图案部分的未延伸位置，并且对于第一图案部分和第二图案部分的未延伸位置，相邻第一图案部分之间的第一距离小于相邻第二图案部分之间的第二距离。

相关交叉引用

本申请要求于2016年9月22日提交的第10-2016-0121518号韩国专利申请的优先权及由其产生的所有权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。

技术领域

一个或多个实施方式涉及沉积掩模、使用沉积掩模的沉积装置以及使用沉积装置制造显示装置的方法。

背景技术

基于其移动性的电子设备已被广泛使用。作为便携式电子设备，平板个人计算机(“PC”)以及诸如移动电话的相对小的电子设备正被广泛使用。

这样的便携式电子设备包括用于支持各种功能以及用于向用户提供诸如图像或视频的视觉信息的显示装置。随着用于驱动便携式显示装置的部件的尺寸的减小，便携式显示装置在整个电子设备中的重要性逐渐增大。对于便携式电子设备和显示装置，已经发展了能够从平坦状态以预定角度弯曲的结构。

在显示装置的结构内的有机材料或用作显示装置内的电极的金属可在真空环境下沉积在显示装置的基板上，以通过真空沉积方法形成相对薄的膜。真空沉积方法通过以下执行：将其上待形成有机薄膜的(目标)基板定位在真空腔室中；将沉积掩模附接到定位的基板，该沉积掩模具有与待形成的有机薄膜的图案对应的沉积图案；以及通过使用沉积源使有机材料蒸发或升华，使得有机材料可沉积在基板上以在其上形成有机薄膜。

发明内容

一个或多个实施方式包括沉积掩模和沉积装置以及制造显示装置的方法。

额外的特征将部分地在以下的描述中阐述，并且部分地将从描述而明显，或通过对所呈现的实施方式的实践而习得。

根据一个或多个实施方式，沉积掩模包括第一区域、凹部区域和图案部分，其中：第一区域在沉积掩模的长度方向上延长以限定夹持部分，夹持部分位于沉积掩模在长度方向上的相对端部处并且该夹持部分被施加力以在沉积掩模的长度方向上使沉积掩模延伸，第一区域通过施加至夹持部分的力而在长度方向上延伸；凹部区域在沉积掩模的宽度方向上设置成与第一区域邻近，该凹部区域在沉积掩模的长度方向上延长以限定位于沉积掩模的相对端部中的每个端部处的凹部，该凹部区域不通过施加至夹持部分的力在长度方向上延伸；图案部分包括多个沉积图案孔，沉积材料穿行经过该多个沉积图案孔到达沉积材料沉积于其上的目标。图案部分设置成多个，包括沿着长度方向布置在第一区域中的多个第一图案部分和沿着长度方向布置在凹部区域中的多个第二图案部分。力未施加至夹持部分限定多个图案部分的未延伸位置，并且对于多个图案部分的未延伸位置，相邻第一图案部分之间的第一距离小于相邻第二图案部分之间的第二距离。

图案部分中的每个可具有包括矩形形状、圆形形状和椭圆形形状之一的平面形状。

图案部分中的每个可具有矩形形状并且包括圆拐角。

多个第一图案部分可分别在相邻第一图案部分之间限定多个第一距离，以及多个第二图案部分可分别在相邻第二图案部分之间限定多个第二距离。

第一距离和第二距离可以分别是恒定的。

第二距离可从沉积掩模的中心部分朝沉积掩模的相对端部逐渐增大。