[发明专利]一种残缺晶圆的边沿确定方法、装置及划片装置

说明书

本发明提供了一种残缺晶圆的边沿确定方法、装置及划片装置。本发明涉及晶圆处理技术领域，特别涉及一种残缺晶圆的边沿确定方法、装置及划片装置。本发明实施例，在使用现有划片装置的情况下，通过控制工作台和图像采集装置，使图像采集装置沿残缺晶圆的边沿运动并采集图像信息，并生成晶圆的边沿，便于后续划片机构根据晶圆的边沿进行划切，从而减少划切过程中机器空跑的时间，提高划切效率。

技术领域

本发明涉及晶圆处理技术领域，特别涉及一种残缺晶圆的边沿确定方法、装置及划片装置。

背景技术

由于晶圆的价值较高，对于残缺的晶圆若丢弃处理则成本高昂，故而对于残缺晶圆往往同样进行划片。但是，在划片机划切晶圆过程中，由于不确定残缺晶圆的边沿形状，相关技术中往往按照完整晶圆的划切方式划切，或按照给定规则形状的边沿划切晶圆，使得划片机在划切过程中会出现很多空跑的现象，导致划切效率大大降低。

发明内容

本发明实施例要解决的技术问题是提供一种残缺晶圆的边沿确定方法、装置及划片装置，用以实现确定残缺晶圆的边沿，便于后续对晶圆进行划切等处理。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种残缺晶圆的边沿确定方法，应用于划片装置，所述划片装置包括：承载有残缺晶圆的工作台和位于所述工作台上方的图像采集装置，所述方法包括：

控制所述工作台向第一预设方向移动，直至所述图像采集装置采集的图像中出现晶圆的边沿；

控制所述图像采集装置在y方向上运动，并控制所述工作台在x方向上运动，使所述图像采集装置沿所述晶圆的边沿运动并采集第一图像信息，其中所述x方向包括第一预设方向和与所述第一预设方向相反的第二预设方向；

根据多个所述第一图像信息，确定所述晶圆的边沿。

进一步的，所述控制所述工作台向第一预设方向移动，直至所述图像采集装置采集的图像中出现晶圆的边沿的步骤包括：

控制所述图像采集装置采集所述晶圆的第二图像信息；

根据所述第二图像信息，判断当前所述图像采集装置采集的图像中是否存在晶圆的边沿；

若当前图像中不存在晶圆的边沿，则控制所述工作台向第一预设方向做步进运动，直至所述图像采集装置采集的图像中出现晶圆的边沿。

进一步的，控制所述图像采集装置在y方向上运动，并控制所述工作台在x方向上运动，使所述图像采集装置沿所述晶圆的边沿运动并采集第一图像信息的步骤包括：

控制所述图像采集装置向在y方向上移动，并采集第一图像信息；

根据所述第一图像信息，判断当前所述图像采集装置采集的图像中是否存在拐点；

若当前图像中不存在拐点，则获取当前图像中晶圆的边沿在当前所述图像采集装置运动方向上的边界点的坐标；

若当前图像中晶圆的边沿在所述图像采集装置运动方向上不存在边界点，则获取当前图像中晶圆的边沿在当前所述工作台运动方向上的边界点的坐标；

控制所述工作台在x方向上运动，并控制所述图像采集装置在y方向上运动，使所述图像采集装置位于所述边界点处，并重新执行所述控制所述图像采集装置向在y方向上移动，并采集第一图像信息的步骤。

进一步的，所述的方法还包括：

若当前图像中存在一个拐点，则获取所述当前图像中拐点的坐标；

若当前图像中存在至少两个拐点，则获取所述当前图像中第一拐点的坐标，其中，所述第一拐点在所述图像采集装置运动方向上的坐标分量大于第二拐点在所述图像采集装置运动方向上的坐标分量；