[发明专利]成膜装置、成膜方法以及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，前述成膜装置具备：

真空槽，其形成有单一的真空气氛；

冷却区域，其设置于前述真空槽内，从第1面侧对被保持于基板保持器的成膜对象基板进行冷却；

金属层成膜区域，其设置于前述真空槽内，具有溅射源，在被保持于前述基板保持器的前述成膜对象基板的第2面上进行金属层的成膜；

输送路径，其以相对于铅垂面的投影形状为一连串的环状的方式形成，并以通过前述金属层成膜区域以及前述冷却区域的方式设置；以及

基板保持器输送机构，其将前述基板保持器以设成水平的状态沿前述输送路径输送，

前述基板保持器输送机构具有：

第1输送部，其沿着前述输送路径将前述基板保持器向既定方向输送；

第2输送部，其沿着前述输送路径将前述基板保持器向与前述第1输送部的输送方向相反的方向输送；以及

输送折返部，其将前述基板保持器以维持上下关系的状态从前述第1输送部朝向前述第2输送部折返地输送，

前述成膜装置被设置成：前述第1输送部通过前述金属层成膜区域以及前述冷却区域中的一方，且前述第2输送部通过前述金属层成膜区域以及前述冷却区域中的另一方。

2.一种成膜装置，其特征在于，前述成膜装置具备：

真空槽，其形成有单一的真空气氛；

第1透明导电氧化物层成膜区域，其设置于前述真空槽内，具有溅射源，在被保持于基板保持器的成膜对象基板的第1面上进行透明导电氧化物层的成膜；

第2透明导电氧化物层成膜区域，其设置于前述真空槽内，具有溅射源，在被保持于前述基板保持器的前述成膜对象基板的第2面上进行透明导电氧化物层的成膜；

冷却区域，其设置在前述真空槽内，从第2面侧对被保持于前述基板保持器的前述成膜对象基板进行冷却；

金属层成膜区域，其设置于前述真空槽内，具有溅射源，在被保持于前述基板保持器的前述成膜对象基板的第1面上进行金属层的成膜；

输送路径，其以相对于铅垂面的投影形状为一连串的环状的方式形成，并以通过前述第1以及第2透明导电氧化物层成膜区域、前述金属层成膜区域以及前述冷却区域的方式设置；以及

基板保持器输送机构，其将前述基板保持器以设成水平的状态沿着前述输送路径输送，

前述基板保持器输送机构具有：

第1输送部，其沿着前述输送路径将前述基板保持器向既定方向输送；

第2输送部，其沿着前述输送路径将前述基板保持器向与前述第1输送部的输送方向相反的方向输送；以及

输送折返部，其将前述基板保持器以维持上下关系的状态从前述第1输送部朝向前述第2输送部折返地输送，

前述成膜装置被设置成：前述第1输送部通过前述第1以及第2透明导电氧化物层成膜区域中的一方，且前述第2输送部通过前述第1以及第2透明导电氧化物层成膜区域中的另一方，并且前述第1输送部通过前述金属层成膜区域以及前述冷却区域中的一方，且前述第2输送部通过前述金属层成膜区域以及前述冷却区域中的另一方。

3.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

前述成膜装置被以下述方式构成：将保持有成膜后的成膜对象基板的前述基板保持器从前述基板保持器输送机构取出，并将取出的该基板保持器导入前述基板保持器输送机构。

4.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

前述基板保持器以在相对于该输送方向正交的方向上排列地保持多个成膜对象基板的方式构成。