[发明专利]镍铼合金靶材及其制法

说明书

本发明提供一种镍铼合金靶材及其制法。该镍铼合金靶材包括镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比且小于或等于7原子百分比，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且铼及第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。藉由控制镍铼合金靶材的组成，本发明的镍铼合金靶材靶材能适用于溅镀形成垂直式磁记录媒体的晶种层，从而提升其记录密度。

技术领域

本发明关于一种磁记录媒体的靶材及其制法，尤指一种可适用于垂直式磁记录媒体的晶种层的镍铼合金靶材及其制法。

背景技术

随着人们对于磁记录媒体的信息储存容量的需求越来越高，如何提升磁记录媒体的记录质量一直是业者积极开发的研究课题。根据磁头磁化的方向，现有技术的磁记录媒体可区分为水平式磁记录媒体及垂直式磁记录媒体。其中，水平式磁记录媒体的记录密度已发展至极限；因此，现有技术转而投入垂直式磁记录媒体的研究，透过细化记录单元及迭设垂直式的层状结构，设法提升磁记录媒体的记录密度。

一般垂直式磁记录媒体的层状结构由下至上包含基板、附着层、软磁层(softunderlayer)、晶种层(seed layer)、中间层(intermediate layer)、磁记录层(magneticrecording layer)、覆盖层以及润滑层。

为确保晶种层获得面心立方(face-centered cubic，FCC)的结晶结构，现有技术多半选用镍钨合金、镍铁钨合金或镍铼合金作为晶种层的主要成分。然而，现有技术的晶种层却多半存在晶粒粗大(即，平均晶粒粒径尺寸为100微米至150微米)、粒径尺寸变异较大(即，平均晶粒粒径尺寸的均匀度约25％至40％)以及结晶性不足(即，FCC结构中(111)晶体方向的强度比例低于60％)等问题，致使沉积在晶种层上的磁记录层连带受到影响，也存在晶粒粗大、粒径尺寸变异较大以及结晶性较差的缺陷，甚而降低磁记录媒体的记录密度。有鉴于此，目前仍需设法细致化与均匀化晶种层的晶粒粒径尺寸，并且同时尝试着提升晶种层的结晶性，借以改善形成在晶种层的磁记录层的膜层质量，进而实现提升磁记录媒体的记录密度的目的。

发明内容

有鉴于现有技术存在的缺陷，本发明一目的在于细致化及均匀化镍铼合金靶材的晶粒粒径，借此令该镍铼合金靶材所溅镀而成的晶种层具有更为细致化及均匀化的晶粒粒径尺寸的效果。据此，此种晶种层应用于磁记录媒体时，能有助于细致化及均匀化沉积于晶种层上的磁记录层的晶粒粒径尺寸，甚而增进磁记录媒体的记录密度。

本发明另一目的在于提升镍铼合金靶材结晶性，借此令该镍铼合金靶材所溅镀而成的晶种层也能具备较佳的结晶性；故当晶种层应用于磁记录媒体时，能有助于提升沉积于晶种层上的磁记录层的结晶性，借以增进磁记录媒体的记录密度。

为达成前述目的，本发明提供一种镍铼合金靶材，其包括镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比(at％)且小于或等于7at％，第一金属成分的总含量大于0at％且小于或等于3at％，其余为镍，且铼及第一金属成分的总含量大于0at％且小于10at％。

根据本发明，借由令该镍铼合金靶材中含有适量的铼作为细化金属，能有助于细致化及均匀化镍铼合金靶材的晶粒粒径尺寸，确保该镍铼合金靶材的平均晶粒粒径尺寸小于或等于30微米、平均晶粒粒径尺寸的均匀度小于或等于20％；据此，相较于现有技术的镍基靶材，本发明能具体解决镍基靶材晶粒粗大以及晶粒粒径尺寸变异较大等问题。同时，借由令镍铼合金靶材中含有特定种类的第一金属成分以及含有适量的第一金属成分，除了能维持细致化及均匀化镍铼合金靶材的晶粒粒径尺寸的效果之外，更能同时提升镍铼合金靶材的结晶性，使镍铼合金靶材的面心立方结晶结构(face centered cubic structure，FCCstructure)中(111)晶体方向的强度比例超过62％以上。