[发明专利]镍铼合金靶材及其制法有效
| 申请号： | 201710762175.X | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109423615B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 唐志文;刘宜陇;黄威智;罗尚贤;郑惠文 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制法 | ||
1.一种镍铼合金靶材，其特征在于，包括镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比且小于或等于7原子百分比，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且铼及第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。
2.根据权利要求1所述的镍铼合金靶材，其特征在于，镍铼合金靶材包括第二金属成分，第二金属成分包含钛、锇、铱、钇、钽、铌、钼或其组合。
3.根据权利要求2所述的镍铼合金靶材，其特征在于，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，第二金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于5原子百分比，且铼、第一金属成分及第二金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的镍铼合金靶材，其特征在于，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于2.9原子百分比。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的镍铼合金靶材，其特征在于，镍铼合金靶材包括铁，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铁的含量大于0原子百分比且小于或等于30原子百分比。
6.根据权利要求4所述的镍铼合金靶材，其特征在于，镍铼合金靶材包括铁，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铁的含量大于0原子百分比且小于或等于30原子百分比。
7.一种镍铼合金靶材的制法，其特征在于，包含：
于1×10-2托耳至1×10-4托耳的真空环境下，以真空感应熔炼法熔炼一金属原料，并以1500℃至1750℃的浇温浇铸得到一预合金铸锭；
雾化该预合金铸锭，以得到一预合金粉末；
于1000℃至1300℃的烧结温度下，烧结该预合金粉末，以得到该镍铼合金靶材；
其中该金属原料含有镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该金属原料的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比且小于或等于7原子百分比，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且铼及第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。
8.根据权利要求7所述的制法，其特征在于，烧结该预合金铸锭的方法包括热压法、热均压法或其组合。
9.根据权利要求7或8所述的制法，其特征在于，该金属原料更含有第二金属成分，第二金属成分包含钛、锇、铱、钇、钽、铌、钼或其组合，以该金属原料的原子总数为基准，第二金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于5原子百分比，且铼、第一金属成分及第二金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。
10.根据权利要求7或8所述的制法，其特征在于，该金属原料更含有铁，以该金属原料的原子总数为基准，铁的含量大于0原子百分比且小于或等于30原子百分比。
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