[发明专利]一种掩模板存储装置

权利要求书

1.一种掩模板存储装置，其特征在于，包括

卡夹外框，包括

存储空腔，设有两个竖直相对的且平行的腔壁；

固定槽组，所述固定槽组上下层状分布，所述固定槽组中的两个固定槽对应的设于两个腔壁上；

存放卡夹，包括

卡夹框；

卡接块，分布于所述卡夹框的两侧；

静电薄膜，设于所述卡夹框的底层；静电薄层通过外接电源控制静电的产生和释放；

存放层，设于所述卡夹框的上层面；所述存放层包括一对相对设置的楔形结构，所述掩模板或基板存放于所述楔形结构中；

其中，当所述存放卡夹存放于所述卡夹外框时，所述卡接块对应的卡接于所述固定槽中；所述存放层上放置有掩模板和/或基板。

2.根据权利要求1所述的掩模板存储装置，其特征在于，每一所述固定槽的底面设有突起的定位块，所述卡接块的下底面设有与所述定位块匹配的定位槽，当所述存放卡夹存放于所述卡夹外框时，所述定位块位于所述定位槽内。

3.根据权利要求2所述的掩模板存储装置，其特征在于，每一所述固定槽的所述定位块的个数为2-4个。

4.根据权利要求2所述的掩模板存储装置，其特征在于，所述定位块和所述定位槽的高度之和等于或小于所述固定槽的高度。

5.根据权利要求2所述的掩模板存储装置，其特征在于，所述定位块的形状为圆台形。

6.根据权利要求1所述的掩模板存储装置，其特征在于，所述固定槽组上下等距排列。

7.根据权利要求6所述的掩模板存储装置，其特征在于，相邻的两个所述固定槽组之间的距离吻合于所述存放卡夹的高度。

8.根据权利要求1或6所述的掩模板存储装置，其特征在于，所述固定槽组设有8-10组。

9.根据权利要求1所述的掩模板存储装置，其特征在于，所述楔形结构形成的放置平面为基板放置平面或掩模板放置平面，所述基板放置平面的尺寸小于所述掩模板放置平面的尺寸。