[发明专利]一种芯片级封装的倒装LED白光芯片的制备方法有效
申请号: | 201710712974.6 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN107482103B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 邹军;姜楠;石明明;李杨;杨波波;李文博;房永征 | 申请(专利权)人: | 上海应用技术大学;浙江亿米光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/48;H01L21/78 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 200235 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片级 封装 倒装 led 白光 芯片 制备 方法 | ||
1.一种芯片级封装的倒装LED白光芯片的制备方法,其特征在于,包括压合工艺、固化工艺、切割工艺、检测工艺,其中:
压合工艺包括以下步骤,
S1:将倒装芯片(2)排列放置在固晶钢板(3)上;
S2:将放置有所述倒装芯片(2)的所述固晶钢板(3)放在压合机的下模板(5)的上表面,并在所述下模板(5)的下面放置好垫高片(6);
S3:将提前做好的荧光薄膜(1)贴合在所述压合机的上模板(4)的下表面;
S4:启动所述压合机,所述压合机内部开始加热,加热到所述荧光薄膜(1)开始软化后再使所述压合机的内部温度保持在所述荧光薄膜(1)软化的温度30分钟以上;
S5:所述上模板(4)开始下压,所述上模板(4)与所述下模板(5)压合;
S6:压合5~10分钟,所述荧光薄膜(1)达到表面硬化后开模,并将压合好的放置有所述倒装芯片(2)的所述固晶钢板(3)取出;
固化工艺包括以下步骤,
S7:将步骤S6中压合好的放置有所述倒装芯片(2)的所述固晶钢板(3)放入烤箱进行烘烤固化;
切割工艺包括以下步骤,
S8:用划片机和不同厚度的刀具(7)将步骤S7中固化好的所述倒装芯片(2)进行精确划切,得到规定侧面厚度(12)的单颗芯片级封装LED;
检测工艺包括以下步骤,
S9:将步骤S8中所述单颗芯片级封装LED在积分球上进行抽检测试,确认测试结果满足客户要求后,包装出货;
所述垫高片(6)的高度可控制顶面封装荧光薄膜厚度,所述刀具(7)的厚度可控制侧面荧光薄膜封装厚度。
2.如权利要求1所述的一种芯片级封装的倒装LED白光芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S4和所述步骤S5之间还包括:
抽真空:使所述压合机内部抽真空,所抽真空的真空度为-95~-100Kpa范围内时,所述抽真空停止。
3.如权利要求1所述的一种芯片级封装的倒装LED白光芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S7中所述烤箱的烘烤固化温度为150℃~180℃,烘烤时间为3~3.5小时。
4.如权利要求1所述的一种芯片级封装的倒装LED白光芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S5中,所述压合的压力为20-30Kgf/cm2。
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