[发明专利]一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置

权利要求书

1.一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置，其特征在于，包含：

一金属层，被包覆在一盘体中；

一金属棒，用于传递RF讯号，该金属棒具有一上端及一下端，该金属棒的上端电性耦接至该金属层，且该金属棒的上端与该金属层之间具有一磁性金属接触；该金属层的材质为钨，该金属棒的材质为钨或铬。

2.如权利要求1所述的RF讯号传递装置，其特征在于，该磁性金属接触的材质为镍。

3.如权利要求1所述的RF讯号传递装置，其特征在于，该盘体还包含至少一加热单元。

4.一种等离子体处理设备，其特征在于，包含：一壳体，具有一底部；及一加热座，包含：一盘体，包覆用于传递RF讯号的一金属层及一加热单元；及一柱体，自该壳体的底部延伸以支撑该盘体于该壳体中，该柱体包覆一第一金属棒，该第一金属棒具有一上端及一下端，该第一金属棒的上端电性耦接至该金属层，且该第一金属棒的上端与该金属层之间具有一磁性金属接触；该金属层的材质为钨，该第一金属棒的材质为钨或铬。

5.如权利要求4所述的等离子体处理设备，其特征在于，该磁性金属接触的材质为镍。

6.如权利要求4所述的等离子体处理设备，其特征在于，该加热座的柱体还包覆一第二金属棒，该第二金属棒与该盘体的加热单元电性耦接。