[发明专利]一种阵列基板及其制造方法

说明书

本发明公开一种阵列基板，包括：纵横交错的多个扫描线和多个数据线、由扫描线和数据线交叉限定的像素区域、位于扫描线和数据线交叉处的薄膜晶体管、位于像素区域内的像素电极、以及位于像素电极和数据线之间的至少一个绝缘膜；所述薄膜晶体管包括与扫描线连接的栅极、与数据线连接的源极、以及漏极；所述绝缘膜包括JAS层，所述JAS层设有漏极通孔，所述像素电极通过所述漏极通孔与漏极连接；所述JAS层在对应漏极通孔位置设有凹槽。通过本发明的技术方案，当使涂布PI液时，因凹槽位置膜厚度比凹槽周边膜厚薄，PI液液能够流入漏极通孔位置附近，有效的解决了PI液无法均匀的涂布在漏极通孔周边，而导致显示画面存在群辉点的问题。

技术领域

本发明涉及液晶显示(LCD)器件，尤其是一种可使配向膜均匀涂布的阵列基板及其制造方法。

背景技术

液晶显示(LCD)器件包括两个彼此分隔开并相对的基板，液晶材料层设置在两个基板之间。各基板包括彼此相对的电极，其中施加于各电极的电压在电极之间形成电场。通过改变所施加电场的强度或方向，从而改变液晶材料层的液晶分子的排列。因此，根据液晶分子的排列来改变穿过液晶材料层的透光率，从而使LCD器件显示图像。

图1是现有技术的阵列基板的局部平面图。在图1中，扫描线11和数据线40彼此交叉以限定像素电极70，在扫描线11和数据线40交叉处形成薄膜晶体管T，以用作开关元件。薄膜晶体管T包括连接到扫描线11并接收扫描信号的栅极、连接到数据线并接收数据信号的源极以及与源极分隔开并通过漏极通孔80与像素电极连接的漏极。其中，漏极通孔80形成于对应所述扫描线的开槽90，薄膜晶体管T还包括在栅极和源、漏极之间的有源层。

图2为图1中A-A’的截面图，在图2中，通过淀积第一金属层并通过第一掩模工艺对第一金属层构图，在透明绝缘基板10上形成扫描线11，该扫描线设有一个开槽；接着，栅绝缘层12、有源层(图未示)、刻蚀阻挡层13、数据线(图未示)、第一Pass层14、Jas层15、公共电极16、第二Pass层17、以及像素电极(图未示)依次淀积在扫描线11之上。

扫描线和数据线由金属材料制成，例如铝(Al)、铝合金、钼(Mo)、钨(W)和铬(Cr)。

栅绝缘层13、第一Pass层和第二Pass层由无机绝缘材料制成，例如氮化硅(SiNx)和氧化硅(SiO2)；Jas层为有机绝缘材料制成，在Jas层上形成有漏极通孔，漏极通孔形成于对应所述扫描线的开槽。

由于扫描线位置处的膜层厚度高于漏极通孔周边的膜厚，导致PI液(配向液)无法均匀的涂布在通孔周边，造成部分通孔位置PI液偏薄，导致配向力弱从而导致显示画面存在群辉点问题。

发明内容

发明目的：解决现有技术中的孔位置PI液偏薄，导致配向力弱从而导致显示画面存在群辉点问题。

技术方案：为了上述发明目的，本发明提供一一种阵列基板，包括：纵横交错的多个扫描线和多个数据线、由扫描线和数据线交叉限定的像素区域、位于扫描线和数据线交叉处的薄膜晶体管、位于像素区域内的像素电极、以及位于像素电极和数据线之间的至少一个绝缘膜；所述薄膜晶体管包括与扫描线连接的栅极、与数据线连接的源极、以及漏极；所述绝缘膜包括JAS层，所述JAS层设有漏极通孔，所述像素电极通过所述漏极通孔与漏极连接；所述JAS层位于所述扫描线的上方且在所述漏极通孔的周围区域设有凹槽。

进一步，所述凹槽位置的Jas层厚度比凹槽周边的Jas层厚度薄；

进一步，Jas层为有机绝缘膜；

进一步，所述绝缘层还包括至少一个PAS层，所述漏极通孔穿过所述PAS层；

进一步，所述PAS层为无机绝缘膜；

一种阵列基板的制造方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一基板，多个扫描线形成在该基板上；