[发明专利]一种管状元器件端面金属化工装

说明书

本发明公开一种管状元器件端面金属化工装，包括掩埋工装与蒸发工装，掩埋工装包含承载底座、成型件、元器件承载柱与冲压质量块，成型件能够与承载底座形成配合，成型件中心设有成型孔；元器件承载柱能够与成型孔形成配合，元器件承载柱顶面用于放置管状元器件，元器件承载柱放入成型孔后，元器件承载柱顶面与成型孔形成用于填充NaCl的介质成型腔；通过掩埋工装制作NaCl与管状元器件构成的饼片，蒸发工装对饼片进行固定，再通过蒸发工艺即实现管状元器件端面的金属化；NaCl价格低廉，且容易与管状元器件制成饼片，金属化结束后只需将NaCl溶解，即可取出管状元器件；本发明能够大批量地对管状元器件进行金属化，提高了效率。

技术领域

本发明涉及固态功率收发集成器件制备技术领域，具体涉及管状元器件端面的金属化。

背景技术

小尺寸管状元器件（≤150μm），是固态功率收发集成器件之管芯制备中的关键元器件，它是很多产品必备的关键和核心器件。近年来，开展了大量系统的研制工作。通过研制需求为牵引，开展管芯、器件、集成功能单元与集成器件的研制，突破管芯与单片集成电路制备技术及固态功率放大器、制造技术等，推动技术应用和装备的跨越式发展。取得了核心产品、关键技术的重大突破，是促进我国技术与相关装备实现快速发展及应用的必由之路。

小尺寸管状元器件的端面金属化是该元件制备的核心关键。蒸发工艺是常用的端面金属化方法，但是目前，对于小尺寸管状元器件还没有办法通过蒸发工艺来实现金属化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种管状元器件端面金属化工装，通过该工装能够实现对小尺寸管状元器件通过蒸发工艺达到端面金属化。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种管状元器件端面金属化工装，包括：

a、掩埋工装，

掩埋工装包含承载底座、成型件、元器件承载柱与冲压质量块，承载底座分别设有交叉的横向承载槽与纵向承载槽，横向承载槽的深度大于纵向承载槽的深度；所述成型件为长方体，成型件能够通过纵向承载槽与承载底座形成配合，成型件中心设有成型孔；元器件承载柱能够与成型孔形成配合，元器件承载柱顶面用于放置管状元器件，元器件承载柱放入成型孔后，元器件承载柱顶面与成型孔形成用于填充NaCl的介质成型腔；冲压质量块与介质成型腔形成配合，用于传递冲压机压力；冲压机冲压后，在介质成型腔内形成NaCl与管状元器件构成的饼片；

b、蒸发工装，

蒸发工装包含上金属夹板与下金属夹板，上金属夹板的板面设有一组上安装孔，下金属夹板的板面设有一组下安装孔，上安装孔与下安装孔一一对应，上安装孔的孔径小于下安装孔的孔径；下安装孔用于对掩埋工装制得的饼片进行固定，上金属夹板与下金属夹板之间通过相对应设置的固定孔进行固定。

本发明的有益效果是：通过掩埋工装制作NaCl与管状元器件构成的饼片，蒸发工装对饼片进行固定，再通过蒸发工艺即实现管状元器件端面的金属化；上、下两层金属夹板的结构，使金属化时饼片不易脱落；NaCl价格低廉，且容易与管状元器件制成饼片，金属化结束后只需将NaCl溶解，即可取出管状元器件；每个饼片可包含多个管状元器件，而蒸发工装又可以容纳多个饼片，从而能够大批量地对管状元器件进行金属化，提高了效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明掩埋工装的结构示意图；

图2是图1的爆炸示意图；

图3是利用掩埋工装制作饼片的示意图；

图4是图3的剖视图；

图5是饼片的示意图；

图6是饼片的剖视图；