[发明专利]一种对位装置有效
申请号: | 201710609265.5 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN107546167B | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 刘思洋 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 对位 装置 | ||
本发明提供了一种对位装置。该对位装置包括:机台、多个支撑部,以及多个限位挡块;多个支撑部分散地设置在机台上,且可在竖直方向上位移,每一支撑部上表面设置有可自由转动的球形构件,以用于支撑基板的背面;多个限位挡块分散地设置在机台上,分别形成并排设置的第一限位挡块组和并排设置的第二限位挡块组,且第一限位挡块组所在直线与第二限位挡块组所在直线相互垂直;机台上设置有控制组件,用于控制多个支撑部在竖直方向上的位移,使基板的一侧边抵至第一限位挡块组,且与该侧边相邻的另一侧边抵至第二限位挡块组,以对基板进行定位。该方案可利用基板自身重量和支撑部的动作完成对位,可有效减少碎颗粒的产生,提高产品良率。
技术领域
本发明涉及显示器制制造技术领域,特别是涉及一种对位装置。
背景技术
在信息社会的当代,作为可视信息传输媒介的显示器的重要性在进一步加强,为了在未来占据主导地位,显示器正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。
在TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板制作过程中,基板需要经过清洗、成膜、曝光、显影、刻蚀等不同的制程工艺。在完成这些制程工艺的过程中,基板需要在各个制程机台间来回搬送,搬送过程中不可避免的会因为震动等原因造成基板位置的偏移。而在进行各个制程时,又需要精确地调整基板位置,以保证较佳的制作效果。因此,在机台的入口位置一般都设计有对位装置,通过气缸控制夹持机构调整基板的位置精度,以满足制程中对基板位置的要求。
然而,相关技术中使用夹持机构推动基板,导致基板背面强行擦伤,产生较多碎颗粒,从而使产品产生不良,较大地降低了产品的品质。
发明内容
本发明的目的在于提供一种改进的对位装置。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种对位装置,包括:机台、多个支撑部,以及多个限位挡块;
所述多个支撑部分散地设置在所述机台上,且可在竖直方向上位移,每一支撑部上表面设置有可自由转动的球形构件,以用于支撑基板的背面;
所述多个限位挡块分散地设置在所述机台上,分别形成并排设置的第一限位挡块组和并排设置的第二限位挡块组,且第一限位挡块组所在直线与第二限位挡块组所在直线相互垂直;
所述机台上设置有控制组件,用于控制所述多个支撑部在竖直方向上的位移,使所述基板的一侧边抵至所述第一限位挡块组,且与所述侧边相邻的另一侧边抵至所述第二限位挡块组,以对所述基板进行定位。
在一些实施例中,所述多个支撑部形成矩阵设置在所述机台上。
在一些实施例中,所述第一限位挡块组沿平行所述矩阵的一侧分布,所述第二限位挡块组沿与所述矩阵的一侧相邻的另一侧分布。
在一些实施例中,所述第一限位挡块组与所述第二限位挡块组呈“L”形设置在所述机台上。
在一些实施例中,所述控制组件按照每一支撑部到所述第二限位挡块组的距离由近及远,控制所述多个支撑部在竖直方向上的高度依次递增,以使所述基板的一侧边抵至所述第一限位挡块组;
所述控制组件按照每一支撑部到所述第一限位挡块组的距离由近及远,控制所述多个支撑部在竖直方向上的高度依次递增,以使与所述侧边相邻的另一侧边抵至所述第二限位挡块组。
在一些实施例中,所述控制组件包括控制器和多个马达,所述多个马达与所述支撑部一一对应,所述控制器通过控制所述多个马达运转以控制所述多个支撑部在竖直方向上的位移。
在一些实施例中,每一马达具有一转子,所述转子上设置有外螺纹,所述支撑部具有一腔体,所述腔体内壁上设置有与所述内螺纹匹配的外螺纹,所述控制器可控制所述转子在所述腔体内沿竖直方向移动,以控制所述多个支撑部在竖直方向上的位移。
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