[发明专利]一种高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法

权利要求书

1.一种高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，包括管芯的制备、电极焊接、处理封装，其具体工艺方法为：

a、管芯制备：

a-1、通过深度扩散的在单晶硅片上形成PN结，通过电子束蒸发在PN结的P面和N面制备金属薄膜层；

a-2、通过吹砂切割将镀有金属薄膜层的单晶硅片吹砂成型；

a-3、采用清洗剂对切割好的管芯进行腐蚀清洗，腐蚀完成后的管芯用丙酮进行超声波清洗，再用酒精进行超声波清洗，然后脱水、烘干；

b、电极焊接：通过高温真空烧结将电极与金属引线烧焊成一个整体的电极引线，再电极引线、管芯、电极引线依次竖直叠放到石墨模具中，再将石墨模具放入真空烧结炉中将电极引线和管芯进行600℃～800℃的高温熔焊键合。

c、处理封装：

c-1、使用酸腐蚀液对烧焊后的二极管进行酸腐蚀30～120s；

c-2、将酸腐蚀后的二极管放入碱腐蚀液中腐蚀清洗60～180s；

c-3、使用冷、热去离子水交替冲洗10次；

c-4、使用玻璃粉浆在二极管表面均匀涂覆形成均匀的球体，然后低温成型2～3h；

c-5、在引线上装上焊料和电极片后使用300～400℃温度烧结；

c-6、多余引线切除。

2.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：金属薄膜层的材料为铝。

3.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述酸腐蚀液按质量百分比是分析纯的65％～68％的硝酸、≥40％的氢氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸、≥99.5％的磷酸按体积比1.2：1：1：2：2的混合溶液。

4.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述碱腐蚀液为3％～6％的氢氧化钾溶液，其碱腐蚀温度为58～98℃。

5.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述钝化液按质量百分比是≥30％的双氧水、≥85％的磷酸和离子水按2:2:5混合的混合液。

6.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述玻璃粉的主要含量为二氧化硅、氧化锌、三氧化二硼。

7.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述低温成型的升温速率10～15℃/min，升温时间45～65min，烧结温度600～680℃，恒温时间5～40min，降温速率≤5℃/min。

8.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述清洗剂按质量百分比是65％～68％的硝酸、≥40％的氢氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸按体积比8:2:2:5的混合溶液。

9.如权利要求1所述的高可靠玻璃钝化微型表贴二极管的制造方法，其特征在于：所述焊料为铝。