[发明专利]一种柔性基板原子氧防护层的生产线

说明书

本发明提供了一种柔性基板原子氧防护层的生产线，具备：用于固定安装柔性基板的固定安装预备系统；用于清洗并烘干的清洗烘干处理系统；用于进行活化预处理的活化处理系统；用于进行硅烷化处理的硅烷化处理系统；用于稳定化处理的稳定化处理系统；用于检测的自主检测系统；用于对废液进行回收处理的废液回收系统；用于在各系统间传动柔性基板的传动系统；和用于控制动作的控制系统；各系统间采用线性排列。根据本发明，能以自动化的方式流水线作业，生产出的柔性基板原子氧防护层产品具有产品大面积均匀性好、批次稳定性好、成品率高，防原子氧效果显著等优点，适合于柔性基板原子氧防护层的生产使用。

技术领域

本发明涉及柔性基板原子氧防护层生产设备技术领域，具体地涉及一种柔性基板原子氧防护层的生产线。

背景技术

柔性基板是低轨航天器柔性太阳电池翼的关键部件。由于低轨航天器运行环境中存在大量高活性的原子氧，会使暴露于空间环境的柔性基板表面材料发生强烈的氧化与侵蚀，直接导致构件失效，因此必须在不影响原有使用性能的前提下使柔性基板具备防原子氧功能，才能满足日益增长的低轨航天器的发展需求。针对以上需求，申请人在前期研究的基础上，开展了低轨航天器柔性基板原子氧防护层的研制工作。

结果表明，所研制的柔性基板原子氧防护层试样的原子氧侵蚀速率由原始聚酰亚胺的3.0×10^-24 cm³/ atom降低至10^-26 cm³/ atom以下，且经100次-100 ℃～+100 ℃冷热循环后无裂纹出现，经3M 610胶带粘贴后原子氧防护层无明显剥离，可见，其在不影响原有使用性能的前提下，实现了防原子氧功能。

然而，在实际应用中，低轨航天器用柔性基板一般为大尺寸基板，比如空间站用大尺寸柔性基板组件的长度长达2.5米，宽度接近0.5米，这对设备机械制造和控制的均匀性提出了很高的要求。按照当前低轨航天器用柔性基板原子氧防护层的生产工艺，现有设备无法满足大尺寸柔性基板原子氧防护层的研制。

具体而言，一方面，因涉及工艺原理复杂性、工艺特殊性以及对控制精度和大尺寸均匀性要求高等特性，低轨航天器用柔性基板原子氧防护层的生产线包含多个非标研制的系统功能模块。另一方面，因工艺作业流程长且必需满足大批量生产的需求，因此需要具备自动化控制系统以进行PLC或PAC控制，还需包括薄膜框自动流程计算、自动故障识别、伺服机构运行精度及反馈控制、废气废液自动化处理等。

目前，市场上并没有完整的柔性基板原子氧防护层产品的生产线，而由不同构件组装的试验装置均不具备生产大尺寸柔性基板原子氧防护层产品的必要工序，生产出的产品难以保证质量，或难以用于流水线作业，成本高，成品率低，性能不稳定等。因此，必须针对大尺寸柔性基板原子氧防护层产品研制进行生产线建设，用于上述柔性基板原子氧防护层的生产，满足低轨航天器的发展需要。

发明内容

鉴于以上所述，本发明所要解决的技术问题在于提供一种柔性基板原子氧防护层产品的生产线，以自动化的方式流水线作业，生产出的柔性基板原子氧防护层产品具有产品大面积均匀性好、批次稳定性好、成品率高，防原子氧效果显著等优点，适合于柔性基板原子氧防护层的生产使用。