[发明专利]加载端口及包括加载端口的基板输送系统

权利要求书

1.一种加载端口，其包括供用于收纳基板的容器载置的载置部，在所述载置部与沿预先设置的轨道行进并输送所述容器的输送单元之间交接所述容器，其特征在于，

该加载端口还包括：

基座，其配置为竖立设置，具有开口部；

门部，其设于所述基座，用于开闭所述开口部；

框架，其设置为在与所述基座正交的前后方向上从所述基座向前方突出，并支承所述载置部；

旋转机构，其使所述载置部绕铅垂轴线旋转；

移动机构，在利用所述输送单元将所述容器载置于所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，该移动机构使所述容器远离所述门部；以及

控制部，

所述控制部在使所述载置部从自所述输送单元接收所述容器的交接位置移动到比所述交接位置靠前方的分开位置之后，使所述载置部向比所述交接位置靠后方的门开闭位置移动，在所述分开位置，所述门部与所述容器分开并且使所述载置部旋转，在所述门开闭位置，设于所述容器的侧面的盖与所述门部一起开闭。

2.根据权利要求1所述的加载端口，其特征在于，

所述移动机构使所述载置部比所述框架向所述前方突出，从而使所述载置部移动至所述分开位置。

3.根据权利要求2所述的加载端口，其特征在于，

该加载端口还包括：

检测单元，其检测位于所述框架的所述前方的障碍物；以及

控制单元，其在所述检测单元检测到所述障碍物的情况下限制所述载置部向所述分开位置的移动。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的加载端口，其特征在于，

所述移动机构具有从下方支承所述旋转机构并且能够沿所述前后方向移动的可动部，

由所述旋转机构从下方支承所述载置部，

气体注入或者排出用的喷嘴支承于所述可动部，所述喷嘴能够在与喷嘴插入口连接的连接位置和向下方与所述喷嘴插入口分开的喷嘴分开位置之间升降，所述喷嘴插入口形成在被载置于所述载置部的所述容器的底面。

5.根据权利要求4所述的加载端口，其特征在于，

在所述移动机构使所述载置部向所述门开闭位置移动之前或者正在移动的过程中，所述喷嘴向所述连接位置移动，经由所述喷嘴开始向所述容器注入气体或者自所述容器排出气体。

6.一种基板输送系统，其特征在于，

该基板输送系统包括：

第1加载端口，其是权利要求1～5中任一项所述的加载端口；

第2加载端口，其具有所述载置部，并且，不具有所述旋转机构；以及

输送室，其具有将所述基板相对于所述容器输入输出的输送单元，

所述第1加载端口的所述载置部的所述交接位置和所述第2加载端口的所述载置部的所述交接位置沿所述输送单元的所述轨道配置。