[发明专利]一种翻转装置

说明书

本发明提供一种翻转装置，用于装有半导体的固定环的翻转，所述翻转装置包括：夹持机构，所述夹持机构可活动以夹持或松开所述固定环；连接件，所述连接件与所述夹持机构相连；翻转机构，所述翻转机构与所述连接件相连以通过驱动所述连接件翻转带动所述固定环翻转。根据本发明实施例的翻转装置，能够有效实现装有半导体的固定环的翻转，夹持机构保证了固定环翻转过程中的稳定性和可靠性，整个装置结构紧凑，方便实用，成本较低。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种翻转装置。

背景技术

在半导体专用设备制造过程中，实现硅片(晶片)的自动取、放和自动传输是一项关键技术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片抓取装置有：夹持式、电磁吸附式、真空吸盘吸附式等。其中夹持式晶片抓取装置容易造成晶片损坏，电磁吸附式晶片抓取装置和真空吸盘吸附式晶片抓取装置结构较为复杂，零件加工难度大，还存在难于控制的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种翻转装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

根据本发明实施例的翻转装置，用于装有半导体的固定环的翻转，所述翻转装置包括：

夹持机构，所述夹持机构可活动以夹持或松开所述固定环；

连接件，所述连接件与所述夹持机构相连；

翻转机构，所述翻转机构与所述连接件相连以通过驱动所述连接件翻转带动所述固定环翻转。

进一步地，所述夹持机构包括两个，两个所述夹持机构设在所述固定环的相对两侧，所述连接件形成为长条形，两个所述夹持机构分别与所述连接件相连，所述翻转机构与所述连接件的一端相连以驱动所述连接件翻转。

进一步地，每个所述夹持机构分别包括：

连接块，所述连接块设在所述连接件上；

驱动装置，所述驱动装置可活动地设在所述连接块上；

夹持块，所述夹持块与所述驱动装置相连，所述夹持块由所述驱动装置驱动以夹持或松开所述固定环。

进一步地，所述驱动装置形成为气缸，所述气缸具有沿其轴向可伸缩的驱动轴，所述连接块形成为气缸安装座。

进一步地，每个所述夹持机构还包括：

垫板，所述连接块通过所述垫板安装在所述连接件上。

进一步地，每个所述夹持机构还包括：

第一销轴，所述第一销轴设在所述驱动轴的自由端；

连杆，所述连杆的一端与所述第一销轴可枢转地相连，所述连杆的另一端与所述夹持块可枢转地相连；

第二销轴，所述第二销轴设在所述连接块上，所述夹持块通过所述第二销轴与所述连接块可枢转地相连。

进一步地，每个所述夹持机构还包括：

连接板，所述连接板设在所述连接块上且一端与所述连接块相连，所述第二销轴设在所述连接板的另一端上且与所述夹持块相连。

进一步地，每个所述夹持机构分别包括两个所述连接板，两个所述连接板分别与所述连接块的两侧相连，所述第二销轴和所述夹持块设在两个所述连接板之间。

进一步地，所述驱动装置为CDQSB20-75DC型气缸。

进一步地，所述翻转机构包括：

安装座；

翻转气缸，所述翻转气缸设在所述安装座上，所述翻转气缸与所述连接件相连以驱动所述连接件翻转。