[发明专利]一种翻转装置有效

专利信息
申请号: 201710500267.0 申请日: 2017-06-27
公开(公告)号: CN107331641B 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 王海明;张文斌;杨生荣;衣忠波;张景瑞;齐昊妹;贺东葛;王欣 申请(专利权)人: 北京中电科电子装备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 100176 北京市经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 翻转 装置
【权利要求书】:

1.一种翻转装置,用于装有半导体的固定环的翻转,其特征在于,所述翻转装置包括:

夹持机构,所述夹持机构可活动以夹持或松开所述固定环;

连接件,所述连接件与所述夹持机构相连;

翻转机构,所述翻转机构与所述连接件相连以通过驱动所述连接件翻转带动所述固定环翻转;

所述夹持机构包括两个,两个所述夹持机构设在所述固定环的相对两侧,所述连接件形成为长条形,两个所述夹持机构分别与所述连接件相连,所述翻转机构与所述连接件的一端相连以驱动所述连接件翻转;

每个所述夹持机构分别包括:

连接块,所述连接块设在所述连接件上;

驱动装置,所述驱动装置可活动地设在所述连接块上;

夹持块,所述夹持块与所述驱动装置相连,所述夹持块由所述驱动装置驱动以夹持或松开所述固定环;

所述驱动装置形成为气缸,所述气缸具有沿其轴向可伸缩的驱动轴,所述连接块形成为气缸安装座;

每个所述夹持机构还包括:

垫板,所述连接块通过所述垫板安装在所述连接件上。

2.根据权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,每个所述夹持机构还包括:

第一销轴,所述销轴设在所述驱动轴的自由端;

连杆,所述连杆的一端与所述第一销轴可枢转地相连,所述连杆的另一端与所述夹持块可枢转地相连;

第二销轴,所述第二销轴设在所述连接块上,所述夹持块通过所述第二销轴与所述连接块可枢转地相连。

3.根据权利要求2所述的翻转装置,其特征在于,每个所述夹持机构还包括:

连接板,所述连接板设在所述连接块上且一端与所述连接块相连,所述第二销轴设在所述连接板的另一端上且与所述夹持块相连。

4.根据权利要求3所述的翻转装置,其特征在于,每个所述夹持机构分别包括两个所述连接板,两个所述连接板分别与所述连接块的两侧相连,所述第二销轴和所述夹持块设在两个所述连接板之间。

5.根据权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,所述驱动装置为CDQSB20-75DC型气缸。

6.根据权利要求1所述的翻转装置,其特征在于,所述翻转机构包括:

安装座;

翻转气缸,所述翻转气缸设在所述安装座上,所述翻转气缸与所述连接件相连以驱动所述连接件翻转。

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