[发明专利]一种富水基清洗液组合物

权利要求书

1.一种富水基清洗液组合物，包括去离子水、有机季胺化合物、有机醇胺、有机剥离溶剂、缓蚀剂、螯合助剂，其特征在于各组合物质量百分比含量为：去离子水20-70%、有机季胺化合物0.1-10%、有机醇胺0.1-20%、有机剥离溶剂5-70%、缓蚀剂0.01-15%、螯合助剂0.01-10%。

2.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所述各组合物优选质量百分比含量为：去离子水优选30-60%、有机季胺化合物优选0.5-7%、有机醇胺优选1-15%、有机剥离溶剂优选10-60%、缓蚀剂优选0.1-10%、螯合助剂优选0.1-8%。

3.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所述有机季铵化合物为选自四甲基氢氧化铵、羟乙基三甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种，其中优选四甲基氢氧化铵、羟乙基三甲基氢氧化铵中的一种或其混合物。

4.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所述有机醇胺较佳的为单乙醇胺、N- 甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、2-氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、N,N- 二甲基乙醇胺、N,N-二乙基乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的一种或多种，优选单乙醇胺和二甘醇胺中的一种或其混合物。

5.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所述有机剥离溶剂中至少一种组份与水互溶，其中优选亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺、醇醚中的一种或多种；所述亚砜较佳的为二甲基亚砜、甲乙基亚砜中的一种或多种；所述砜较佳的为甲基砜、环丁砜中的一种或多种；所述咪唑烷酮较佳的为2-咪唑烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一种或多种；所述吡咯烷酮较佳的为N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种；所述咪唑啉酮较佳的为1,3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述酰胺较佳的为二甲基甲酰胺、二乙基甲酰胺、二甲基乙酰胺中的一种或多种；所述醇醚较佳的为二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所以缓蚀剂为含有氮、氧、硫等原子的有机缓蚀剂，其中较佳的为多元醇类、酚类、唑类、有机羧酸类中的一种或几种，所述多元醇较佳的为1,2-丙二醇、丙三醇、二乙二醇、二丙二醇、赤藓糖醇、木糖醇、山梨糖醇中的一种或几种；所述酚类较佳的为邻苯二酚、4-甲基邻苯二酚、4-叔丁基邻苯二酚、4-羧基邻苯二酚、邻苯三酚、没食子酸、没食子酸甲酯、没食子酸乙酯、没食子酸正丙酯中的一种或几种；所述唑类较佳的为1,2,4-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、4-氨基-1,2,4-三唑、5-氨基四唑、苯并咪唑、2-巯基-1-甲基咪唑、巯基-苯并噻唑、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1-羟基苯并三唑、1-苯基-5-巯基四氮唑中的一种或几种；所述有机羧酸类较佳的为柠檬酸、马来酸、DL-苹果酸、邻苯二甲酸中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述一种富水基清洗液组合物，其特征在于所述螯合剂为氨基乙酸、亚氨基二乙酸、乙二胺四乙酸、反式环己二胺四乙酸、水杨酸、5-磺基水杨酸、甲基磺酸、二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺中的一种或几种。

8.一种富水基清洗液组合特的使用方法，其特征在于先将特定组分在室温下依次加入容器中，并在容器中一起混合直至所有组分全部溶解为澄清溶液为止，然后将含有光刻胶残留物的晶圆浸入容器中的混溶液液中，在25℃至50℃下浸泡合适的时间后，取出直接去离子漂洗后，再用高纯氮气吹干即可。

9.根据权利要求8所述一种富水基清洗液组合物的使用方法，其特征在于所述特定组分中还可以加入表面活性剂，所述表面活性剂优选为氟碳类非离子表面活性剂或双子非离子表面活性剂。

10.根据权利要求8所述一种富水基清洗液组合物的使用方法，其特征在于所述双子非离子表面活性剂优选为2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇和4,7-二甲基-5-癸炔-4,7-二醇。