[发明专利]一种有机电致发光器件及制备方法、蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种有机电致发光器件及制备方法、蒸镀设备。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)具有自发光、发光效率高、功耗低、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为在照明和显示器件市场上具有广阔的应用前景，受到了国际光电学术界和产业界的高度重视。

目前使用真空蒸镀的方法制备OLED器件，在蒸镀沉积有机功能层的过程中蒸镀腔室必须具有高真空度和洁净的环境，蒸镀过程中工艺条件的不同会对OLED器件的性能造成极大的不同，而目前采用真空蒸镀的方法制备的OLED器件的寿命较低，这与市场的需求不相符。

基于此，如何提高OLED器件的寿命，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种有机电致发光器件及制备方法、蒸镀设备，用以提高OLED器件的寿命。

本发明实施例提供的一种有机电致发光器件的制备方法包括：

在衬底基板上形成阳极层；

在形成有所述阳极层的所述衬底基板上真空蒸镀待蒸镀的有机功能层材料，并在蒸镀所述待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有所述阳极层的所述衬底基板进行热处理，以形成有机功能层；

在形成有所述有机功能层的所述衬底基板上形成阴极层。

通过该方法，在蒸镀待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有阳极层的衬底基板进行热处理，以改善有机功能层的形貌，从而影响有机功能层的性能，进而可以提高OLED器件的寿命。

较佳地，所述在形成有所述阳极层的所述衬底基板上真空蒸镀待蒸镀的有机功能层材料，并在蒸镀所述待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有所述阳极层的所述衬底基板进行热处理，具体包括：

根据待蒸镀的有机功能层材料的性质确定热处理温度；

利用设置在蒸镀腔室中的热源对所述衬底基板进行加热至所述热处理温度；

在形成有所述阳极层的所述衬底基板上真空蒸镀所述待蒸镀的有机功能层材料，并采用所述热处理温度在蒸镀所述待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有所述阳极层的所述衬底基板进行热处理。

该方法在蒸镀待蒸镀的有机功能层之前，对衬底基板进行加热，可以有效减少吸附在待蒸镀的衬底基板表面上的水氧和其他杂质，从而可以提高OLED器件的寿命，并且根据待蒸镀的有机功能层材料的性质确定热处理温度，采用该热处理温度在蒸镀待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有阳极层的衬底基板进行热处理，这样可以更好地改善有机功能层的形貌，从而可以进一步提高OLED器件的寿命。

较佳地，所述利用设置在蒸镀腔室中的热源对所述衬底基板进行加热，具体包括：

利用设置在蒸镀腔室中并且位于所述衬底基板背向蒸发源一侧的加热基板对所述衬底基板进行加热。

该方法利用设置在蒸镀腔室中并且位于衬底基板背向蒸发源一侧的加热基板对衬底基板进行加热，这样可以使得加热更加均匀，因此可以更好地改善有机功能层的形貌，从而可以进一步提高OLED器件的寿命。

较佳地，所述热处理温度为40-150℃。

较佳地，在形成有所述阳极层的所述衬底基板上形成有机功能层，具体包括：

在形成有所述阳极层的所述衬底基板上依次层叠真空蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层。

较佳地，在制备所述空穴传输层之后，且在制备所述发光层之前，该方法还包括：

在所述空穴传输层上真空蒸镀制备电子阻挡层。

较佳地，在制备所述发光层之后，且在制备所述电子传输层之前，该方法还包括：

在所述发光层上真空蒸镀制备空穴阻挡层。

本发明实施例还提供了一种有机电致发光器件，该有机电致发光器件为采用本发明任意实施例提供的有机电致发光器件的制备方法制备得到的有机电致发光器件。

由于本发明实施例提供的有机电致发光器件采用上述有机电致发光器件的制备方法制备得到，而上述有机电致发光器件的制备方法在蒸镀待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有阳极层的衬底基板进行热处理，以改善有机功能层的形貌，从而影响有机功能层的性能，进而可以提高OLED器件的寿命。

本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，设置在所述蒸镀腔室中的蒸发源，还包括：设置在所述蒸镀腔室中的热源，用于在制备本发明任意实施例提供的有机电致发光器件的过程中，在蒸镀待蒸镀的有机功能层材料过程中对形成有所述阳极层的所述衬底基板进行热处理。