[发明专利]一种五元稀土硼化物单晶热阴极材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710441704.6 申请日: 2017-06-13
公开(公告)号: CN107236989B 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 张久兴;王盼;杨新宇;宁舒羽;王衍;胡可 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: C30B29/10 分类号: C30B29/10;C30B13/00;C30B13/16;H01J1/148
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 卢敏
地址: 230009 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 稀土 硼化物单晶 热阴极 材料 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种五元稀土硼化物单晶热阴极材料的制备方法,其特征在于:所述单晶热阴极材料的组成为(CexLa(1-x)/3Pr(1-x)/3Nd(1-x)/3)B6,0<x<1;

所述单晶热阴极材料的制备方法包括如下步骤:

(1)将CeB6、LaB6、PrB6、NdB6粉末按摩尔比x:(1-x)/3:(1-x)/3:(1-x)/3球磨混合均匀并干燥,所得混合粉末装入石墨模具中,预压成型,成型压力为2~10MPa;然后将石墨模具放入放电等离子烧结炉的炉腔内,抽真空至真空度不高于5Pa,施加20~50MPa的轴向压力,升温至1500~1900℃,保温5~10min;完成后随炉冷却,在炉温不高于50℃时取出试样,获得多晶样品;

(2)用电火花线切割机将所述多晶样品切割为Ф4~8mm的多晶试棒,并用砂纸打磨光滑,然后超声清洗、干燥备用;

(3)以两根步骤(2)所得多晶试棒分别作为料棒和籽晶,加入到光学区熔炉中进行一次区熔,在光学区熔炉内通入高纯氩气;以不大于90℃/min的升温速率升温,使上下试棒相互靠近的端面同时熔化并形成稳定熔区;将料棒和籽晶反向旋转,转速为10~30rpm,控制晶体的生长速率为10~40mm/h;

(4)以步骤(3)所获得的一次区熔产物作为上料棒、以晶体取向(100)的LaB6单晶为籽晶,加入到光学区熔炉中进行二次区熔,在光学区熔炉内通入高纯氩气;以不大于90℃/min的升温速率升温,使上下试棒相互靠近的端面同时熔化并形成稳定熔区;将料棒和籽晶反向旋转,转速为10~30rpm,晶体的生长速率为1~20mm/h;二次区熔后即获得(CexLa(1-x)/3Pr(1-x)/3Nd(1-x)/3)B6单晶体。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述CeB6、LaB6、PrB6、NdB6粉末的纯度皆不低于99.9%、粒度皆不大于360目。

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