[发明专利]一种低羟基黄色掺杂石英管的生产方法

权利要求书

1.一种低羟基黄色掺杂石英管的生产方法，其特征是包括以下步骤：

1）选取高纯石英原料，其中 Sio2含量≥99.95%，石英砂粒度为60-150目；

2）将试剂与原料放入搅抖机内进行混合搅拌均匀；该试剂包括重量为原料0. 1 - 1%的硝酸铕或氧化铕，以及重量为原料0. 1 - 1%的硝酸铝或氧化铝；

3）将混合均匀的原料进行高温连续烘烤，使石英原料与掺入的试剂在高温烘烤过程中完全去除水分；

4）将烘烤后的原料投入连熔炉内进行熔融，再经拉管机牵引，拉制出整体着色的黄色石英管；

5）将拉制出的黄石英管放入真空或空气脱羟炉内进行高温脱羟，使羟基降低到1-20ppm。

2.根据权利要求1所述的低羟基黄色掺杂石英管的生产方法，其特征是所述步骤3）中的烘烤温度为900℃一1300℃。

3.根据权利要求1所述的低羟基黄色掺杂石英管的生产方法，其特征是所述步骤4）的石英管的长度为0.9-2m，直径为5-50mm，壁厚为0.8-2mm。

4.根据权利要求1所述的低羟基黄色掺杂石英管的生产方法，其特征是所述步骤5）中的脱羟恒温温度为900℃-1050℃，脱羟时间为1-3小时。