[发明专利]彩色滤光结构及其制造方法

说明书

一种彩色滤光结构的制造方法，包含：在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层；执行微影制程以形成虚拟涂层，其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻，其中沟槽系夹设于两相邻的柱状透明光阻之间；以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。

技术领域

本发明是有关于一种彩色滤光结构及其制造方法，且特别是有关于用以减少条痕(striation)缺陷的一种彩色滤光结构及其制造方法。

背景技术

阶梯式(ladder-like)像素排列是用以制造硅基液晶(Liquid Crystal onSilicon，LCOS)元件的其中一种布局拓扑(layout topography)。然而，阶梯式像素排列可能会引发条痕缺陷，这是因为先涂布在晶圆上的至少一涂层会成为接续涂层的阻碍。因此，需要有一种能够减少条痕缺陷的制造方法。

发明内容

本发明提出一种彩色滤光结构的制造方法，包含：在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层；执行微影制程以形成虚拟涂层，其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻，其中沟槽夹设于两相邻的柱状透明光阻之间；以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。

根据本发明的实施例，上述透明光阻为正光阻。

根据本发明的实施例，上述彩色滤光层包含多个红色滤光单元、多个绿色滤光单元以及多个蓝色滤光单元。

根据本发明的实施例，上述彩色滤光结构是设置为阶梯式(ladder-like)结构。

根据本发明的实施例，涂布彩色滤光层于沟槽中是通过执行旋转涂布制程而完成。

本发明另提出一种彩色滤光结构，包含：晶圆以及设置于晶圆上的多个柱状透明光阻与多个彩色滤光单元，其中彩色滤光单元是夹设于两相邻的柱状透明光阻之间。

根据本发明的实施例，上述每一柱状透明光阻为正光阻。

根据本发明的实施例，上述彩色滤光单元包含多个红色滤光单元、多个绿色滤光单元以及多个蓝色滤光单元。

根据本发明的实施例，上述彩色滤光结构是设置为阶梯式结构。

根据本发明的实施例，上述彩色滤光单元是通过执行旋转涂布制程而形成。

附图说明

从以下结合所附附图所做的详细描述，可对本发明的实施方式有更佳的了解。需注意的是，根据业界的标准实务，各特征并未依比例绘示。事实上，为了使讨论更为清楚，各特征的尺寸都可任意地增加或减少。

图1为绘示根据本发明的实施例的制造彩色滤光结构的方法的流程图。

图2a至图2e为绘示根据本发明的实施例的制造彩色滤光结构的方法的多个步骤所分别对应的彩色滤光结构的剖视图。

图3为绘示根据本发明的实施例的彩色滤光结构的俯视图。

具体实施方式

以下仔细讨论本发明的实施例。然而，可以理解的是，实施例提供许多可应用的概念，其可实施于各式各样的特定内容中。所讨论、揭示的实施例仅供说明，并非用以限定本发明的范围。

图1为绘示根据本发明的实施例的制造彩色滤光结构100的方法1000的流程图，图2a至图2e为绘示根据本发明的实施例的制造彩色滤光结构100的方法1000的多个步骤1100-1300所分别对应的彩色滤光结构100的剖视图，请一并参阅图1与图2a至图2e。方法1000始于步骤1100。于步骤1100，如图2a所示，于晶圆110上涂布透明光阻以形成透明光阻层120。在本实施例中，上述透明光阻为正光阻，但本发明不限于此。