[发明专利]彩色滤光结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201710431145.0 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN109031751B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 谢于叡;陈柏男 | 申请（专利权）人： | 奇景光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 结构 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种彩色滤光结构的制造方法，包含：
涂布一透明光阻以在一晶圆上形成一透明光阻层；
执行一微影制程以形成一虚拟涂层，其中所述虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻，其中所述多个沟槽是夹设于两相邻的柱状透明光阻之间；以及
涂布一彩色滤光层于所述多个沟槽中以形成所述彩色滤光结构，所述彩色滤光结构是设置为一阶梯式结构。
2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述透明光阻为一正光阻。
3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述彩色滤光层包含多个红色滤光单元、多个绿色滤光单元以及多个蓝色滤光单元。
4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，涂布所述彩色滤光层于所述多个沟槽中是通过执行一旋转涂布制程而完成。
5.一种彩色滤光结构，包含：
一晶圆；
多个柱状透明光阻，设置于所述晶圆上；以及
多个彩色滤光单元，设置于所述晶圆上；
其中所述多个彩色滤光单元是夹设于两相邻的柱状透明光阻之间，所述彩色滤光结构是设置为一阶梯式结构。
6.如权利要求5所述的彩色滤光结构，其特征在于，每一柱状透明光阻为一正光阻。
7.如权利要求5所述的彩色滤光结构，其特征在于，所述多个彩色滤光单元包含多个红色滤光单元、多个绿色滤光单元以及多个蓝色滤光单元。
8.如权利要求5所述的彩色滤光结构，其特征在于，所述多个彩色滤光单元是通过执行一旋转涂布制程而形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奇景光电股份有限公司，未经奇景光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710431145.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
