[发明专利]具有{0 0 1}织构化κ-Al2 有效
申请号: | 201710403214.7 | 申请日: | 2017-06-01 |
公开(公告)号: | CN107557755B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 埃里克·林达尔;扬·恩奎斯特 | 申请(专利权)人: | 山特维克知识产权股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;B23B27/00;C23C16/34;C23C16/32;C23C16/36;C23C16/30 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王潜;郭国清 |
地址: | 瑞典桑*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 织构化 al base sub | ||
1.一种涂层切削工具,所述涂层切削工具包括基底和涂层,其中所述涂层包括至少一个通过化学气相沉积(CVD)沉积的厚度为1-20μm的κ-Al2O3层,其中在所述κ-Al2O3层的(0 06)反射上从-80°至80°的χ扫描显示以0°为中心的最强峰,并且其中所述峰的FWHM25°。
2.根据权利要求1所述的涂层切削工具,其中在15°至140°的X射线衍射图中,来自所述κ-Al2O3层的最强峰是(0 0 2)反射。
3.根据权利要求2所述的涂层切削工具,其中在15°至140°的X射线衍射图中,来自所述κ-Al2O3层的第二强峰是(0 0 4)反射。
4.根据权利要求3所述的涂层切削工具,其中在15°至140°的X射线衍射图中,来自所述κ-Al2O3层的第三强峰是(0 0 6)反射。
5.根据权利要求1-4中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述κ-Al2O3层的平均厚度为2-10μm。
6.根据权利要求1-4中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述涂层还包括α-Al2O3层。
7.根据权利要求6所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层位于所述κ-Al2O3层与所述基底之间。
8.根据权利要求6所述的涂层切削工具,其中所述α-Al2O3层的厚度为0.5-2μm或0.7-1μm。
9.根据权利要求6所述的涂层切削工具,其中所述涂层还包括TiN、TiCN、TiC、TiCO、TiAlCO和TiCNO的一个或多个层。
10.根据权利要求9所述的涂层切削工具,其中TiN、TiC、TiCN、TiCO、TiCNO、TiAlCO中的一种或多种的层位于所述α-Al2O3层与所述κ-Al2O3层之间。
11.根据权利要求10所述的涂层切削工具,其中所述TiN、TiC、TiCN、TiCO、TiCNO、TiAlCO中的一种或多种的层的厚度≤0.5μm。
12.根据权利要求1-4中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述涂层包括如从所述基底的表面看呈以下次序的层:TiN、TiCN、TiCNO、α-Al2O3、TiN和κ-Al2O3。
13.根据权利要求1-4中的任一项所述的涂层切削工具,其中所述涂层包括最外面的指示磨损的有色层。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的