[发明专利]在由载具支撑的基板上沉积一层或多层的系统及方法

说明书

本申请是申请日为2014年2月4日、申请号为201480073071.2，题为“用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法”的申请的分案申请。

技术领域

本发明的实施例涉及有机材料的沉积、用于沉积材料(例如，有机材料)的系统、用于有机材料的源以及用于有机材料的沉积设备。本发明的实施例尤其涉及：用于制造器件(特别地，在其中包含有机材料的器件)的制造系统；用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统；在用于制造器件(特别地，包含有机材料的器件)的制造系统中制造器件的方法；以及在用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统中沉积一层或多层的方法。

背景技术

有机蒸发器是一种用于有机发光二极管(OLED)的生产的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLEDs)用在电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置等的制造以用于显示信息。OLED也可用于一般的空间照明。由于OLED像素直接发射光且不要求背光，OLED显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器的范围。因此，OLED显示器的能耗大幅低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可被制造在柔性基板上的事实带来了进一步的应用。例如，典型的OLED显示器可包含位于两个电极之间的多个有机材料层，所述多个有机材料层以形成具有可独立供能的像素的矩阵显示面板的方式而全都沉积在基板上。OLED一般被放置在两个玻璃面板之间，并且密封所述玻璃面板的边缘以将OLED封装于其中。

在这类显示器装置的制造中遇到很多挑战。在一个示例中，具有将OLED封装在两个玻璃面板之间来防止可能的装置污染所需的许多劳动密集型步骤。在另一个示例中，不同尺寸显示器屏幕以及由此产生的不同尺寸的玻璃面板可能要求基本上重新配置用于形成显示器装置的工艺和工艺硬件。总体上，存在对在大面积基板上制造OLED装置的期望。

在大规模OLED显示器的制造中，带来各种挑战的一个步骤是对基板的掩模，例如用于沉积图案化的层。另外，已知的系统典型地具有小的总材料利用率，例如小于50％。

因此，对于用于形成诸如OLED显示器装置的新的、改进的系统、设备和方法，存在持续的需要。

发明内容

鉴于上述内容，提供一种用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的改进的系统、以及一种在用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统中沉积一层或多层的改进的方法。通过从属权利要求、说明书和附图，本发明的实施例的进一步的方面、优点和特征是显而易见的。

根据一个实施例，提供一种用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包含：装载锁定腔室，用于装载待处理的基板；传递腔室，用于传送所述基板；真空摆动模块，在装载锁定腔室和传递腔室之间提供；至少一个沉积设备，用于在至少一个沉积腔室的真空腔室中沉积材料，其中所述至少一个沉积设备连接至所述传递腔室；进一步的装载锁定腔室，用于卸载已处理的基板；进一步的传递腔室，用于传送所述基板；进一步的真空摆动模块，在所述进一步的装载锁定腔室和所述进一步的传递腔室之间提供；以及载具返回轨道，从所述进一步的真空摆动模块通往所述真空摆动模块，其中所述载具返回轨道配置成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下传送载具。

根据另一实施例，提供一种在用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统中沉积一层或多层的方法。所述方法包含以下步骤：以水平取向将基板装载在系统中；在真空摆动模块中将所述基板装载到载具上；在所述真空摆动模块中将所述基板旋转为处于竖直取向；在真空条件下，移送带有被装载的基板的载具通过所述系统，并且将所述载具入传进和传出至少一个沉积腔室；在进一步的真空摆动模块中将载具旋转为处于水平取向；在所述进一步的真空摆动模块中以所述水平取向从所述载具卸载所述基板；以及在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下，将空载具从所述进一步的真空摆动模块返回到所述真空摆动模块。