[发明专利]基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置

说明书

本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。

技术领域

本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的空穴注入层等有机层的基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置。

背景技术

一直以来，有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)作为有机EL(Electroluminescence)器件被大众熟知。因为使用有机发光二极管的有机EL显示器不仅厚度薄、重量轻且耗电低，并且具有在反应速度、视角和对比度方面优良的优点，所以其作为下一代平板显示器(FPD)在近年备受瞩目。

有机发光二极管具有在基板上的阳极和阴极之间夹着有机层的结构。有机层包括例如空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。在形成这些有机层之中的空穴注入层等时，使用将构成有机层的有机材料以喷墨方式在基板上涂敷成膜的方法。

在此种有机发光二极管中，有机EL显示器等所使用的有机发光二极管分别就红色、绿色和蓝色具有有机EL元件，这些元件分别具有独立的发光层。这些发光层的形成虽然也能够与上述空穴注入层等一样采用喷墨方式，但是蓝色发光层用墨在发光亮度等方面并不实用。因此，现有的有机发光二极管的红色发光层和绿色发光层以使用喷墨方式的成膜方法形成，蓝色发光层以蒸镀法形成(参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-171771号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

如专利文献1中公示的方式，在并用使用喷墨方式的成膜方法和蒸镀法的混合型有机发光二极管中，蓝色有机EL元件的寿命、具体而言即蓝色光的点亮寿命尚有改善的余地。另外，即使假设能够通过改变有机发光二极管的制作方法使蓝色光的点亮寿命变长，但是红色EL元件和绿色EL元件的发光特性降低也是问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的空穴注入层等有机层的基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置，目的在于维持有机发光二极管各颜色良好的发光特性的同时延长蓝色光的点亮寿命。

用于解决技术问题的技术方案

为达成前述目的，本发明提供一种基板处理系统，其在基板上形成发出蓝色和蓝色之外的其他颜色的光的有机发光二极管的各颜色用的空穴注入层和空穴输送层及上述其他颜色用的发光层，上述基板处理系统的特征在于，包括：第1空穴注入层形成装置，其以第1烧制温度在基板上形成上述其他颜色用空穴注入层；空穴输送层形成装置，其在形成于基板的上述其他颜色用空穴注入层上，以比上述第1烧制温度高的第2烧制温度形成上述其他颜色用的空穴输送层；和第2空穴注入层形成装置，其在形成有上述其他颜色用空穴注入层和上述其他颜色用的空穴输送层的基板上，以上述第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层。

基板处理系统可以进一步包括异种层形成装置，其在形成于基板上的上述其他颜色用的空穴输送层和蓝色用的空穴注入层上，以比上述第3烧制温度低的烧制温度分别形成上述其他颜色用的发光层和蓝色用的空穴输送层。