[发明专利]基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置

权利要求书

1.一种基板处理系统，其在基板上形成发出蓝色和蓝色之外的其他颜色的光的有机发光二极管的各颜色用的空穴注入层和空穴输送层以及所述其他颜色用的发光层，所述基板处理系统的特征在于，包括：

第1空穴注入层形成装置，其以第1烧制温度在基板上形成所述其他颜色用的空穴注入层；

空穴输送层形成装置，其在形成于基板的所述其他颜色用的空穴注入层上，以比所述第1烧制温度高的第2烧制温度形成所述其他颜色用的空穴输送层；和

第2空穴注入层形成装置，其在形成有所述其他颜色用的空穴注入层和所述其他颜色用的空穴输送层的基板上，以所述第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，包括：

异种层形成装置，其在形成于基板的所述其他颜色用的空穴输送层和蓝色用的空穴注入层上，以比所述第3烧制温度低的烧制温度分别形成所述其他颜色用的发光层和蓝色用的空穴输送层。

3.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，包括：

发光层形成装置，其在形成于基板的所述其他颜色用的空穴输送层上，以比所述第3烧制温度低的烧制温度形成所述其他颜色用的发光层；和

其他空穴输送层形成装置，其在形成于基板的所述蓝色用的空穴注入层上，以比所述第3烧制温度低的其他烧制温度形成所述蓝色用的空穴输送层。

4.如权利要求1～3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

所述有机发光二极管包括：

在所述其他颜色用的空穴输送层上，以使用喷墨方式的成膜法形成的所述其他颜色用的发光层；和

在蓝色用的空穴输送层上，以也覆盖所述其他颜色用的发光层的方式以蒸镀法形成的蓝色发光层。

5.一种空穴注入层形成装置，其在基板上形成发出蓝色和蓝色之外的其他颜色的光的有机发光二极管的蓝色用的空穴注入层，所述空穴注入层形成装置的特征在于，包括：

排出装置，其在形成有所述其他颜色的空穴注入层和所述其他颜色的空穴输送层的基板上，向基板排出构成蓝色用的空穴注入层的有机材料；

干燥装置，其对从所述排出装置排出到基板的有机材料进行干燥；和

烧制装置，其以比形成所述其他颜色的空穴输送层时的烧制温度低的烧制温度，对被该干燥装置干燥后的有机材料进行烧制，形成所述蓝色用的空穴注入层。

6.如权利要求5所述的空穴注入层形成装置，其特征在于，包括：

防附着机构，其在所述蓝色用的空穴注入层形成时，防止构成该蓝色的空穴注入层的有机材料的气化成分附着在所述其他颜色的空穴输送层。

7.如权利要求5或6所述的空穴注入层形成装置，其特征在于：

所述有机发光二极管包括：

在所述其他颜色用的空穴输送层上，以使用喷墨方式的成膜法形成的所述其他颜色用的发光层；和

在蓝色用的空穴输送层上，以也覆盖所述其他颜色用的发光层的方式以蒸镀法形成的蓝色发光层。

8.一种基板处理方法，其用于在基板上形成发出蓝色和蓝色之外的其他颜色的光的有机发光二极管的各颜色用的空穴注入层和空穴输送层以及所述其他颜色用的发光层，所述基板处理方法的特征在于，包括：

以第1烧制温度在基板上形成所述其他颜色用的空穴注入层的步骤；

在形成于基板的所述其他颜色用的空穴注入层上，以比所述第1烧制温度高的第2烧制温度形成所述其他颜色用的空穴输送层的步骤；和

在形成有所述其他颜色用的空穴注入层和所述其他颜色用的空穴输送层的基板上，以所述第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的步骤。