[发明专利]分选器以及检查装置

说明书

本申请是申请人为“精工爱普生株式会社”、发明名称为“分选器以及检查装置”、申请日为“2013年1月15日”、申请号为“201310013946.7”、优先权日为“2012年1月17日”这一母案申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及分选器以及检查装置。

背景技术

以往，公知有例如对IC芯片等电子元件的电特性进行检查的检查装置(参照对比文件1)。

在专利文献1的检查装置中，将电子元件从供给托盘向检查部供给，并对被供给到检查部的电子元件进行电特性的检查，在该检查结束后，将电子元件从检查用插口回收到回收托盘。而且，在专利文献1的检查装置中，利用检查用机器人来进行电子元件的从供给托盘向检查部的移动、从检查部向回收托盘的移动。

检查装置大致划分为分选器(有时也称为IC测试分选器)和检查部(有时也称为IC测试器)。分选器是把持IC等元件并将其向规定的位置输送的装置，是由正交机器人、元件把持部等机构部件构成的产品。

此处，随着近年来的电子元件的小型化、高集成化，其外部端子的间距的微细化也在发展。因此，为了使设置于检查部的探针与电子元件的外部端子准确地接触，要求在将电子元件向检查部供给时的高精度的定位。因此，检查用机器人形成为能够相对于检查部而对电子元件进行高精度的定位的结构。

具体而言，检查部具有能够相对于支承体而沿水平方向(X方向以及Y方向)移动的滑动轨道承受件、和能够相对于滑动轨道承受件而绕Z轴转动的转动修正部，分别对滑动轨道承受件相对于支承体的位置和转动修正部相对于滑动轨道承受件的角度进行控制，由此能够高精度地进行电子元件相对于检查部的定位。

然而，在专利文献1的检查用机器人中，利用马达来使滑动轨道承受件同时进行相对于支承体的X轴方向上的移动以及Y轴方向上的移动，并且还利用马达来使转动修正部进行相对于滑动轨道承受件的转动。马达本身比较大，除此之外，为了改变驱动轴(转动轴)的朝向还另外需要齿条齿轮、小齿轮等结构。因此，在专利文献1的检查装置中，存在导致检查用机器人的大型化，特别是导致保持电子元件的部分的大型化这样的问题。

另外，若检查用机器人变得大型化，则能够在单位区域内配置的电子元件的数量会减少。因此存在如下问题：在包括向检查部供给电子元件、向回收托盘回收该电子元件的步骤的一次的检查工序中，能够检查的电子元件的数量减少。

专利文献1：日本特开2010-91348号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够实现小型化的分选器以及具备该分选器的检查装置。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够以下述方式或者作为下下述应用例而实现。

(应用例1)

本发明的分选器的特征在于，具有：

基体部；

保持部件的保持部；以及

变更机构部，该变更机构部的至少一部分设置于上述基体部以及上述保持部之间，将保持于上述保持部的上述部件的相对于上述基体部的位置改变，

上述位置变更机构部具有：设置成能够沿规定方向移动的二维移动部；设置成相对于上述二维移动部能够转动的转动部；以及使上述二维移动部相对于上述基体部移动的压电促动器。

由此，能够提供小型的分选器。具体而言，若使用压电促动器作为使二维移动部移动的驱动源，则压电促动器与现有的作为驱动源的马达相比形成为薄型(小型)，并且由于不经由其他部件而直接驱动转动部，因此相对于现有的结构能够实现装置的小型化。另外，由于通过使用压电促动器而增大了其配置的自由度，因此能够使分选器的设计的自由度增大，并且能够实现分选器的小型化。

(应用例2)

优选地，在本发明的分选器中，上述二维移动部具有：设置成相对于上述基体部能够沿第一方向移动的第一移动部；以及设置成能够沿与上述第一方向交叉的第二方向移动的第二移动部。

由此，能够对部件的定位进行二维修正，因此对部件的定位精度进一步提高。

(应用例3)

优选地，在本发明的分选器中，上述位置变更机构部具有：使上述第一移动部相对于上述基体部移动的第一压电促动器；以及使上述第二移动部相对于上述第一移动部移动的第二压电促动器。

由此，能够利用小型的驱动源来使第一移动部以及第二移动部移动，从而能够实现分选器的小型化。

(应用例4)

优选地，在本发明的分选器中，上述第一压电促动器以及上述第二压电促动器沿着上述二维移动部的侧面而设置。