[发明专利]分选器以及检查装置

权利要求书

1.一种分选器，其特征在于，具有手单元，

所述手单元具备：

保持部，其保持电子元件；

基体部，其配置在与所述保持部分离的位置并使所述保持部移动；以及

位置变更机构部，其至少一部分设置于所述基体部与所述保持部之间，能够对保持于所述保持部的所述电子元件相对于所述基体部的位置进行变更，

所述位置变更机构部具备：第一移动部，其支承于所述基体部，并设置成能够相对于所述基体部沿第一方向移动；第二移动部，其支承于所述第一移动部，并设置成能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；转动部，其支承于所述第二移动部，并设置成能够相对于所述第二移动部转动；第一压电促动器，其使所述第一移动部相对于所述基体部移动；第二压电促动器，其使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动；以及转动部用压电促动器，其使所述转动部转动，

所述转动部相对于所述第二移动部配置于与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向侧，并绕所述第三方向转动。

2.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，具有：

台座；

框架，其固定于所述台座，并配置为沿所述第二方向延伸；以及

手单元支承部，其配设为能够沿所述框架移动，

所述手单元支承于所述手单元支承部。

3.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，

所述第一压电促动器固定于所述第一移动部。

4.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，

所述第二压电促动器固定于所述第二移动部。

5.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，

所述第一压电促动器固定于所述第一移动部，所述第二压电促动器固定于所述第二移动部。

6.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，

所述转动部用压电促动器设置在与所述转动部的转动轴分离的位置。

7.根据权利要求1所述的分选器，其特征在于，

所述转动部具有在转动轴向上贯通的贯通孔。

8.根据权利要求7所述的分选器，其特征在于，

具有轴向移动部，其插通于所述转动部的所述贯通孔，能够相对于所述转动部而沿转动轴向移动。

9.根据权利要求7所述的分选器，其特征在于，

所述轴向移动部的转动范围受到限制。

10.一种检查装置，其特征在于，具有：

手单元，其具备保持部、基体部以及位置变更机构部，其中，所述保持部保持电子元件，所述基体部配置在与所述保持部分离的位置并使所述保持部移动，所述位置变更机构部的至少一部分设置于所述基体部与所述保持部之间，能够对保持于所述保持部的所述电子元件相对于所述基体部的位置进行变更；

检查部，其检查所述电子元件；以及

输送机构，其将所述电子元件向所述检查部输送，

所述位置变更机构部具备：第一移动部，其支承于所述基体部，并设置成能够相对于所述基体部沿第一方向移动；第二移动部，其支承于所述第一移动部，并设置成能够相对于所述第一移动部沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；转动部，其支承于所述第二移动部，并设置成能够相对于所述第二移动部转动；第一压电促动器，其使所述第一移动部相对于所述基体部移动；第二压电促动器，其使所述第二移动部相对于所述第一移动部移动；以及转动部用压电促动器，其使所述转动部转动，

所述转动部相对于所述第二移动部配置于与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向侧，并绕所述第三方向转动。