[发明专利]多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法及冷氢化工艺有效
申请号: | 201710347724.7 | 申请日: | 2017-05-17 |
公开(公告)号: | CN108946741B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 夏高强;刘兴平;刘建海;潘姝言;范协诚;银波;宋高杰;周迎春 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 氢化 工艺 中的 含硅高沸物 回收 方法 | ||
1.一种多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:
将四氯化硅、氢气、硅加入到冷氢化反应器内发生冷氢化反应,将冷氢化反应器的塔顶得到的第一轻组分通入到淋洗塔内,其中,第一轻组分包括生成的三氯氢硅、含硅高沸物、未反应的四氯化硅和氢气,在淋洗塔内用氯硅烷进行淋洗,在淋洗塔的塔顶得到第二轻组分,在淋洗塔的塔釜得到混合物,混合物包括含硅高沸物;
将淋洗塔的塔釜得到的混合物通入到汽提塔内,向汽提塔内通入氢气或氯硅烷进行汽提,再向汽提塔内通入氯化氢和催化剂,含硅高沸物与氯化氢在催化剂的催化下进行催化裂解反应,在汽提塔的塔顶得到第三轻组分,在汽提塔的塔釜得到渣浆,对渣浆进行排渣处理;通入到汽 提塔的氯化氢为200Nm3/h,通入到汽提塔内的催化剂的量为通入到汽提塔内的混合物的量的0.01~3wt%,汽提塔内的温度为110~180℃。
2.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,淋洗塔内的温度为100~170℃。
3.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,冷氢化反应的温度为450~650℃,压力为1.5~3.5MPa。
4.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,还包括以下步骤:将淋洗塔的塔顶得到的部分第二轻组分收集,余下的第二轻组分经过冷凝后流回到淋洗塔内作为淋洗液进行淋洗。
5.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,还包括以下步骤:将汽提塔的塔顶得到的第三轻组分通入到淋洗塔内作为淋洗液进行淋洗。
6.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,催化剂为三正丁胺、三正辛胺、N,N-二甲基苯胺中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法,其特征在于,在汽提塔的塔釜得到的渣浆的排渣方式为间歇式排渣或连续式排渣。
8.一种冷氢化工艺,其特征在于,包括以下步骤:
将四氯化硅、氢气、硅在冷氢化反应器内发生冷氢化反应生成三氯氢硅和副产物含硅高沸物,冷氢化反应器的塔顶得到第一轻组分,第一轻组分包括生成的三氯氢硅、含硅高沸物、未反应的四氯化硅和氢气;
通过权利要求1~7任意一项所述的含硅高沸物的回收工艺方法处理第一轻组分,回收含硅高沸物。
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