[发明专利]基材膜的制造方法

说明书

一种基材膜的制造方法，是用于制造在支承材料上具有聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层上形成功能层的长条的基材膜的方法，其中，支承材料的表面具有由玻璃化转变温度为300℃以上的耐热性聚酰亚胺面，在该耐热性聚酰亚胺面上，涂布聚酰胺酸的树脂溶液，然后，在150～160℃下进行加热处理而除去树脂溶液中含有的溶剂，并且进一步以从160℃的温度连续或阶段性地升温至350℃的温度的方式进行加热处理，使聚酰胺酸酰亚胺化，在耐热性聚酰亚胺面上形成440nm～780nm的波长区域的透射率为70％以上的聚酰亚胺层。

本发明专利申请是针对申请日为2014年02月20日，申请号为201410058089.7，发明名称为“层叠部件的制造方法”的申请提出的分案申请。

技术领域

本发明涉及层叠部件的制造方法，详细而言涉及将长条的基材膜沿长边方向导出并形成规定的功能层后，分离除去基材膜的一部分使其薄壁化而得到层叠部件这样的层叠部件的制造方法。

背景技术

例如，液晶显示装置、有机EL显示装置等显示装置用于以电视机这种大型显示器，手机、个人计算机、智能手机等小型显示器为代表的各种显示器用途。其中，例如，有机EL显示装置是在玻璃基板上形成薄膜晶体管(以下，TFT)，再依次形成电极、发光层、电极，最后用其它玻璃基板、多层薄膜等气密密封而制成。

在这些显示装置中，通过将玻璃基板替换成树脂基板，与以往相比能够实现薄型、轻型及挠性化，能够进一步拓宽显示装置的用途、改型。然而，通常树脂与玻璃相比尺寸稳定性、透明性、耐热性、耐湿性、阻气性等差，所以目前进行了各种用于改善这些特性的研究。

例如，在专利文献1中提出了涉及作为挠性显示器用树脂基板有用的聚酰亚胺及其前体的发明，公开了使用环己基苯基四羧酸等这样的含有脂环式结构的四羧酸类并与各种二胺反应而成的聚酰亚胺的透明性优异。另外，在非专利文献1和2中，提出了在支承基板中采用透明性高的树脂材料的有机EL显示装置。

另一方面，通过使用挠性优异的树脂基板，能够用辊对辊方式进行制造。例如，在专利文献2中，记载了在有机EL显示装置的制造中，使用在聚碳酸酯等这种透明的塑料基板的两面具有阻隔层的筒状膜基板，用辊对辊方式传送，利用溅射装置在筒状膜基板上形成薄膜晶体管的活性层的技术。通过使用这样的长条的树脂基材，能够连续作业，可以期待显示装置的生产率提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-231327号公报

专利文献2：日本特开2011-181590号公报

非专利文献

非专利文献1：S.An et.al.,“2.8-inch WQVGA Flexible AMOLED Using HighPerformance Low Temperature Polysilicon TFT on Plastic Substrates”,SID2010DIGEST,p706(2010)

非专利文献2：Oishi et.al.,“Transparent PI for flexible display”，IDW‘11FLX2/FMC4-1

发明内容

如上所述，通过将显示装置中使用的玻璃基板替换成树脂基板(树脂膜)，能够实现薄型、轻型及挠性化。特别是以智能手机为代表的移动设备在薄型·轻型化方面的开发竞争激烈，对薄型·轻型化的需求极强。然而，想要使树脂基板的厚度变薄必须充分考虑操作性，尤其是以辊对辊的方式传送长条的树脂膜时，如果膜极薄则在卷绕时等其拉伸成为问题，根据情况有时膜可能发生褶皱、或者发生破损。另外，即便膜本身不发生褶皱、破损等的情况下，TFT、电极、发光层之类的在膜上形成的各种功能层也可能因膜的伸缩在制造过程中品质受到影响。