[发明专利]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的振膜(2)、背极(5)；所述衬底(1)的中部区域形成有背腔，所述振膜(2)通过第一绝缘层(3)支撑在所述衬底(1)的上方，在所述振膜(2)的边缘位置形成有多个梳齿部(22)，所述多个梳齿部(22)间隔分布在振膜(2)的周向方向上；其中，所述振膜(2)上相邻两个梳齿部(22)之间的位置通过绝缘层连接在衬底(1)上；所述振膜(2)上的梳齿部(22)至少部分地与衬底(1)重叠在一起，二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道(6)；所述每个梳齿部(22)包括至少一个通过刻蚀振膜(2)形成的泄气阀瓣(220)。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜(2)包括振膜主体(20)以及多个间隔分布在振膜主体(20)边缘、且相对于振膜主体(20)边缘凸起的连接部(21)，所述梳齿部(22)设置在振膜主体(20)上位于相邻两个连接部(21)之间的位置；所述振膜(2)的连接部(21)通过绝缘层连接在衬底(1)上。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜主体(20)与连接部(21)通过MEMS工艺一体成型。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄气阀瓣(220)呈矩形、扇形、椭圆形、梯形或者S型。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述泄气阀瓣(220)上设置有牺牲孔(221)。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜(2)上梳齿部(22)至振膜(2)中心之间的部分与衬底(1)重叠在一起。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜(2)上梳齿部(22)位置与衬底(1)之间的间隙为1-2μm。

8.根据权利要求1至7任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述梳齿部(22)的自由端延伸至振膜(2)的外侧边缘，并与所述振膜(2)的外侧边缘齐平，或者相对于振膜(2)的外侧边缘呈内缩状态。

9.根据权利要求1至7任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述梳齿部(22)的自由端相对于振膜(2)的外侧边缘呈径向凸起状态。