[发明专利]一种硅片自动化检测分类设备及其控制方法

权利要求书

1.一种硅片自动化检测分类设备，包括传输台（1）、传输带（24）装置（2）、自动分拣装置（3）、控制处理装置（4）、控制台（5），其特征在于，还包括：第一超声波探头（6）、第二超声波探头（7）、高清摄像头（8）、无影灯（9）；所述传输台（1）装置包括主台（3）、二级台（22）、三级台（23），所述二级台（22）、三级台（23）与主台（3）垂直且均位于主台（3）一侧，所述主台（3）还有检测入口（211）与检测出口（212），所述三级台（23）位于检测入口（211）一侧，所述主台（3）的末端为一级品区，所述二级台（22）的末端为二级品区，所述三级台（23）的末端为三级品区；所述传输带（24）装置（2）还包括传输带（24），所述传输带（24）设置在传输台（1）上，所述传输带（24）包括主传送带（241）、第二传送带（242）、第三传送带（243），所述主传送带（241）设置于主台（3），所述第二传送带（242）设置于二级台（22），所述第三传送带（243）设置于三级台（23），所述传输带（24）装置（2）还包括主驱动电机（25）、第二驱动电机（26）、第三驱动电机（27），所述主驱动电机（25）与主传送带（241）电连接，所述第二驱动电机（26）与所述第二传送带（242）连接，所述第三驱动电机（27）与所述第三传送带（243）连接；所述主驱动电机（25）、第二驱动电机（26）、第三驱动电机（27）与控制处理装置（4）电连接；所述自动分拣装置（3）还包括可旋转的第一机械臂（31）与第二机械臂（32），所述第一机械臂（31）与第二机械臂（32）上还分别设置有第一吸取装置（33）与第二吸取装置（34），所述自动分拣装置（3）还包括第一机械臂（31）驱动装置、第二机械臂（32）驱动装置、第一吸取驱动装置（37）、第二吸取驱动装置（38），所述第一机械臂（31）驱动装置与第一机械臂（31）电连接，所述第二机械臂（32）驱动装置与第二机械臂（32）电连接，所述第一吸取驱动装置（37）与第一吸取装置（33）电连接，所述第二吸取驱动装置（38）与第二吸取装置（34）电连接；所述第一机械臂（31）驱动装置、第二机械臂（32）驱动装置、第一吸取驱动装置（37）、第二吸取驱动装置（38）与控制处理装置（4）电连接；所述主台（3）还设置有第一测试台（10）与第二测试台（11），所述第一测试台（10）设置于主台（3）与三级台（23）连接位置的检测入口（211）一侧，所述第二测试台（11）设置于主台（3）与二级台（22）连接位置的检测入口（211）一侧，所述第一测试台（10）底部设置有第一超声波探头（6），所述第二测试台（11）底部设置有第二超声波探头（7）、高清摄像头（8）、无影灯（9），所述第一超声波探头（6）、第二超声波探头（7）、高清摄像头（8）、无影灯（9）与控制处理装置（4）电连接；所述控制台（5）与所述控制处理装置（4）电连接；所述控制台（5）显示检测设备的运行状态，并对检测设备进行操作。

2.根据权利要求1所述的一种硅片自动化检测分类设备，其特征在于，所述第二测试台（11）还设置有电阻率测试仪（12），所述电阻率测试仪（12）分别与所述控制处理装置（4）电连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片自动化检测分类设备，其特征在于，所述传输带（24）为绝缘材质。

4.根据权利要求1所述的一种硅片自动化检测分类设备，其特征在于，所述自动分拣装置（3）还设置有吸力控制装置（13），所述吸力控制装置（13）包括与所述第一吸取装置（33）连接的第一吸力控制装置（131）（13）以及与第二吸取装置（34）连接的第二吸力控制装置（132）（13），所述吸力控制装置（13）与控制处理装置（4）连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片自动化检测分类设备，其特征在于，所述传输台（1）的末端还设置有计数装置（14），所述计数装置（14）包括第一计数装置（141）（14）、第二计数装置（142）（14）、第三计数装置（143）（14），所述第一计数装置（141）（14）设置于主台（3），所述第二计数装置（142）（14）设置于二级台（22），所述第三计数装置（143）（14）设置于三级台（23）；所述计数装置（14）与控制处理器电连接。