[发明专利]成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法

权利要求书

1.一种成膜速率检测模组，其特征在于，包括：

多个主传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽各主传感器且具有主开口的主挡板，主挡板能运动以使主开口轮流对应每个主传感器；

辅传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；

遮蔽辅传感器且具有辅开口的辅挡板，辅挡板能周期运动，在周期运动过程中辅开口经过对应辅传感器的位置，且辅开口面积与辅开口在一个运动周期中累积扫过面积的比为k，k小于等于1/n，n为主传感器个数。

2.根据权利要求1所述的成膜速率检测模组，其特征在于，

所述主挡板为带有主开口的圆环形板，所述多个主传感器沿圆环形板周向均匀分布。

3.根据权利要求1所述的成膜速率检测模组，其特征在于，

所述辅挡板为有辅开口的圆形板，所述辅传感器设于对应圆形板非圆心的位置。

4.根据权利要求1所述的成膜速率检测模组，其特征在于，

所述主挡板为具有主开口的圆环形板，所述多个主传感器沿圆环形板周向均匀分布；

所述辅挡板为有辅开口的圆形板，所述辅传感器设于对应圆形板非圆心的位置；

所述圆形板同心的设于所述圆环形板内侧。

5.根据权利要求4所述的成膜速率检测模组，其特征在于，

所述圆形板的半径等于圆环形板的内径。

6.根据权利要求1所述的成膜速率检测模组，其特征在于，

所述辅开口的面积等于其在一个运动周期中累积扫过的面积的1/n。

7.根据权利要求1所述的成膜速率检测模组，其特征在于，还包括：

主驱动单元，用于驱动所述主挡板运动；

辅驱动单元，用于驱动所述辅挡板匀速的周期运动。

8.一种成膜设备，包括用于成膜的成膜腔室，其特征在于，

所述成膜腔室中设有权利要求1至7中任意一项所述的成膜速率检测模组。

9.根据权利要求8所述的成膜设备，其特征在于，

所述成膜设备为蒸镀设备。

10.一种成膜速率检测方法，其特征在于，使用权利要求1至9中任意一项所述的成膜速率检测模组进行，所述成膜速率检测方法包括：

移动主挡板使主开口对应一个主传感器，该主传感器检测得到主成膜速率；同时，使辅挡板匀速的周期运动，辅传感器检测得到辅成膜速率；

判断所述辅成膜速与主成膜速率的比是否等于k，若不等则表示成膜速率检测结果错误。