[发明专利]一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺在审
| 申请号: | 201710259503.4 | 申请日: | 2017-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN107046072A | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 李亮亮;苏世杰;张玉前;查志军;陈世琴 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所53113 | 代理人: | 张玺 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 太阳能 电池板 均匀 多晶 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池的制作技术领域,具体为一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺。
背景技术
太阳电池的表面反射率是影响太阳电池光电转换效率的重要因素之一。通过制绒,在太阳电池表面织构化可以有效降低太阳电池的表面反射率,入射光在电池表面多次反射延长了光程,增加了对红外光子的吸收,而且有较多的光子在p-n结附近产生光生载流子,从而增加了光生载流子的收集几率;另外同样尺寸的基片,绒面电池的p-n结面积较大,可以提高短路电流,效率也有相应的提高。
但是,依照现有技术,在对多晶硅太阳能电池片进行制绒后,且绒面的有腐蚀坑尺寸较大、均匀性较差、黑丝严重、所得硅片反射率偏高,进而使多晶硅太阳能电池片的电池转换效率低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。所述提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺能使多晶制绒后绒面均匀,转换效率有很好的提高改善,同时灰片和反射率得到了降低。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,包括以下步骤:
1)配制辅助剂:将甜菜碱型两性表面活性剂、磷酸酯盐或羧酸盐、稳定剂、柠檬酸酯和去离子水混合;其之间质量百分含量比为0.2~1.8%∶0.02~0.035%∶0.2~0.5%∶0.03~0.05%∶96~97.5%;
2)配制制绒液:在溶液槽内投入酸性制绒液或碱性制绒液,并将辅助剂加入到制绒液中;
3)制绒:将待加工的原料硅片切片、漂洗后送入溶液槽中制绒,并保持腐蚀深度2.7~2.9um、制绒温度26~29℃、制绒时间15~30s;得到成品;
4)将成品清洗、烘干。
优选的,甜菜碱型两性表面活性剂为α-长链烷基、N-长链烷基、N-长链酰胺烷基、N-长链硫代羧酸或磺基甜菜碱型两性表面活性剂的一种或几种。
优选的,稳定剂为酸性稳定剂或碱性稳定剂;其中酸性稳定剂为聚丙烯酸;碱性稳定剂为二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺或者多乙烯多胺其中一种与苯二酚的混合溶液或四甲基氢氧化铵。
优选的,碱性稳定剂还可为乙二胺;苯二酚为邻苯二酚。
优选的,乙二胺与邻苯二酚的体积比为(6~7):1。
优选的,柠檬酸酯为柠檬酸三丁酯或柠檬酸三乙酯。
优选的,3)中制绒腐蚀深度2.8um、制绒温度25.5℃、制绒时间20s。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:甜菜碱型两性表面活性剂可以适应强酸及苛性碱环境,与柠檬酸酯复配作用,甜菜碱型两性表面活性剂可以在制绒过程中部产生气泡,柠檬酸酯提高刻蚀液在多晶硅表面的流动性,十分有利于得到细小均匀的绒面,腐蚀出金字塔的形貌,形成更多、更匀致的光陷阱,改变了多晶硅表面的形貌结构,降低了多晶硅制绒后的反射率,使的转换效率提高了0.012~0.042%;磷酸酯盐或羧酸盐弥补甜菜碱型两性表面活性剂在碱性环境中不具有阴离子性质;同时稳定剂改善了制绒过程反应速度波动性,使刻蚀速率平稳,缩短刻蚀时间及硅片外观颜色,降低发灰片的产生。
附图说明
图1为本发明采用实施例2制得的多晶硅片表面电子显微镜扫描照片;
图2为常规多晶硅片表面电子显微镜扫描照片;
图3为本发明实施例1-3制得的多晶硅片的转换效率技术指标图;
图4为本发明采用实施例2制得的多晶硅片的灰片比例趋势图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4,本发明提供一种技术方案:
实施例1
一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,包括以下步骤:
1)配制辅助剂:将甜菜碱型两性表面活性剂、磷酸酯盐或羧酸盐、稳定剂、柠檬酸酯和去离子水混合;其之间质量百分含量比为0.5%∶0.028%∶0.3%∶ 0.035%∶96.5%;
2)配制制绒液:在溶液槽内投入酸性制绒液或碱性制绒液,并将辅助剂加入到制绒液中;
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





