[发明专利]一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺在审
| 申请号: | 201710259503.4 | 申请日: | 2017-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN107046072A | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 李亮亮;苏世杰;张玉前;查志军;陈世琴 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所53113 | 代理人: | 张玺 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 太阳能 电池板 均匀 多晶 工艺 | ||
1.一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于,包括以下步骤:
1)配制辅助剂:将甜菜碱型两性表面活性剂、磷酸酯盐或羧酸盐、稳定剂、柠檬酸酯和去离子水混合;其之间质量百分含量比为0.2~1.8%∶0.02~0.035%∶0.2~0.5%∶0.03~0.05%∶96~97.5%;
2)配制制绒液:在溶液槽内投入酸性制绒液或碱性制绒液,并将辅助剂加入到制绒液中;
3)制绒:将待加工的原料硅片切片、漂洗后送入溶液槽中制绒,并保持腐蚀深度2.7~2.9um、制绒温度26~29℃、制绒时间15~30s;得到成品;
4)将成品清洗、烘干。
2.根据权利要求1所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:甜菜碱型两性表面活性剂为α-长链烷基、N-长链烷基、N-长链酰胺烷基、N-长链硫代羧酸或磺基甜菜碱型两性表面活性剂的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:稳定剂为酸性稳定剂或碱性稳定剂;其中酸性稳定剂为聚丙烯酸;碱性稳定剂为二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺或者多乙烯多胺其中一种与苯二酚的混合溶液或四甲基氢氧化铵。
4.根据权利要求1或3所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:碱性稳定剂还可为乙二胺;苯二酚为邻苯二酚。
5.根据权利要求4所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:乙二胺与邻苯二酚的体积比为(6~7):1。
6.根据权利要求4所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:柠檬酸酯为柠檬酸三丁酯或柠檬酸三乙酯。
7.根据权利要求1所述的一种提高太阳能电池板绒面均匀度的多晶制绒工艺,其特征在于:3)中制绒腐蚀深度2.8um、制绒温度25.5℃、制绒时间20s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





