[发明专利]传送及保护晶圆的装置

说明书

本发明提出一种传送及保护晶圆的装置，其包含晶圆容器；多个晶圆卡匣，设于晶圆容器内；啮合锁，用以避免多个晶圆卡匣产生移位，该啮合锁直接接触于多个晶圆卡匣的侧壁。

技术领域

本发明设计一种晶圆卡匣(wafer cassette)，尤其涉及一种传送及保护晶圆的装置。

背景技术

晶圆卡匣是一种用以夹持晶圆的装置，以利传送于设备之间以进行晶圆的处理或量测。储存于晶圆卡匣的晶圆可使用机械手(robotic hand)或牙叉 (fork)将其取出或置入。

符合标准机械接口(Standard Mechanical InterFace,SMIF)规格的传送盒可提供一小型环境，具有受控制的气流、压力及粒子数量，用以隔离晶圆免受到污染。前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)是另一种规格，用以稳固且安全地夹持晶圆于受控制的环境中，使得晶圆得以传送于设备之间以进行处理或量测。

为了提高效率，传统的传送盒内通常设置有一个以上的晶圆卡匣。然而，由于晶圆卡匣是个别的置入传送盒内，因此当使用机器人系统的机械手臂来存取晶圆时，传统传送盒的操作精确度很低。

当移动传送盒时，为了避免其内的晶圆卡匣与晶圆不会产生移位，需要使用机制以稳固夹持多个晶圆卡匣。然而，传统机制容易因为制造公差而损坏晶圆卡匣内的晶圆。此外，当存取传统晶圆卡匣内的晶圆时，机械手的前端经常因为错位而意外地撞到晶圆卡匣的侧壁。

因此，亟需提出一种新颖的装置以传送及保护晶圆，并改善传统传送盒的缺失。

发明内容

鉴于上述，本发明实施例的目的之一在于提出一种具有高操作精确度的装置，以传送及保护晶圆，且可防止晶圆损坏或避免晶圆卡匣的侧壁被撞到。

根据本发明实施例，传送及保护晶圆的装置包含晶圆容器、多个晶圆卡匣及啮合锁。所述多个晶圆卡匣设于晶圆容器内。啮合锁避免所述多个晶圆卡匣产生移位，且啮合锁直接接触于所述多个晶圆卡匣的侧壁。

根据本发明另一实施例，传送及保护晶圆的装置包含晶圆容器及多个晶圆卡匣。所述多个晶圆卡匣设于晶圆容器内，且设于晶圆容器的所有面。

本发明的有益效果在于，本发明提出的传送及保护晶片的装置，具有高操作精确度，以传送及保护晶片，且可防止晶片损坏或避免晶片卡匣的侧壁被撞到。

附图说明

图1的透视图显示本发明实施例的传送及保护晶圆的装置。

图2A的俯视图显示本发明实施例图1的装置的啮合锁。

图2B显示图2A的啮合锁的透视图。

图3A显示本发明实施例的装置的部分俯视图。

图3B显示图3A的部分装置的透视图。

其中，附图标记说明如下：

11 遮罩

12 底座

13 晶圆卡匣

14 物件

15 托架

31 远端

32 机械手

100 装置

110 晶圆容器

120 啮合锁

131 侧壁

141 穹面

142 长条件

161 顶板