[发明专利]传送及保护晶圆的装置

权利要求书

1.一种传送及保护晶圆的装置，包含：

一晶圆容器；

多个晶圆卡匣，设于该晶圆容器内；及

多个啮合锁，用以避免所述多个晶圆卡匣产生移位，所述多个啮合锁分别直接接触于所述多个晶圆卡匣的侧壁，其中该啮合锁包含：

一穹面，其内表面的垂直方向固设有长条件；及

一托架，其内表面固设于该穹面的外表面，且该托架的外表面固设于该晶圆容器的内表面。

2.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该啮合锁不接触于晶圆。

3.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中每一该长条件具有单边或双边水平延伸。

4.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器包含一遮罩及一底座，其共同定义出容置晶圆的空间。

5.根据权利要求4所述的传送及保护晶圆的装置，其中该遮罩包含透明材质。

6.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合标准机械接口规格。

7.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合前开式晶圆传送盒规格。

8.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆卡匣于远端具有开口，使得该晶圆卡匣的远端未受阻挡。