[发明专利]金属桥换能元及其制造方法

权利要求书

1.一种金属桥换能元，其特征在于包括基片、在基片表面通过增材制造技术增加金属材料形成的金属桥层、在金属桥层的部分区域以及基片的部分区域通过增材制造技术增加非金属材料形成的飞片层、在飞片层上通过增材制造技术增加非金属材料形成的加速膛层，所述加速膛层的中心区域设置有小孔，所述金属桥层中没有覆盖非金属材料的区域作为金属桥换能元的电极；

所述金属桥层的厚度为2～10μm，飞片层的厚度为20～150μm，加速膛层的厚度为200～800μm；

所述非金属材料为聚对二甲苯材料或聚酰亚胺材料；

所述加速膛层上的小孔的直径为1～2mm；

所述基片为陶瓷基片或微晶玻璃基片。

2.权利要求1所述金属桥换能元的制造方法，其特征在于包括步骤：

A、在基片表面通过增材制造技术增加金属材料形成金属桥层；

B、在金属桥层的部分区域以及基片的部分区域通过增材制造技术增加非金属材料形成飞片层，所述金属桥层中没有覆盖非金属材料的区域作为金属桥换能元的电极；

C、在飞片层上通过增材制造技术增加非金属材料形成加速膛层，在形成加速膛层的过程中，在加速膛层的中心区域设置一个小孔。

3.根据权利要求2所述的金属桥换能元的制造方法，其特征在于所述步骤A之前还包括：采用丙酮和去离子水并通过标准的清洗工艺对基片的表面进行处理。

4.根据权利要求2所述的金属桥换能元的制造方法，其特征在于如果步骤B和步骤C中使用的非金属材料相同，则在通过步骤B形成飞片层结构的同时通过步骤C形成加速膛层结构。