[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，

该基板处理装置包括：

基板保持工具，其能够将多个基板在铅垂方向上具有间隔地堆叠为多层，具有在铅垂方向上分隔所述多个基板所堆叠的区域的多个分隔板；

处理容器，其能够收容该基板保持工具；

突出部，其以从该处理容器内的与所述分隔板的外周侧面相对的内周壁面朝向所述分隔板的外周侧面向内侧突出的方式延伸，在形成于突出了的顶端的内周侧面和所述分隔板的外周侧面之间形成间隙；以及

气体供给部件，其能够向形成在该突出部的所述内周侧面和所述分隔板的外周侧面之间的所述间隙供给非活性气体而形成压力比周围的压力高的正压部，

该基板处理装置还包括处理气体供给部件，该处理气体供给部件用于在所述处理容器内的整个铅垂方向上沿横向喷出处理气体，

在所述处理容器内的所述内周壁面的位于所述突出部之间的区域设有排气口，构成为能够在所述分隔板之间的区域形成侧流。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述分隔板具有圆板形状，

所述正压部具有圆环形状。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述气体供给部件贯通所述分隔板和所述突出部中的至少一者的内部地设置。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

在所述突出部的所述内周侧面和所述分隔板的外周侧面中的至少一者上设有迷宫结构。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，

所述迷宫结构具有朝向相对面突出的多个突出结构，

该多个突出结构包含沿着所述突出部的所述内周侧面和所述分隔板的外周侧面中的至少一者的上表面及所述突出部的所述内周侧面和所述分隔板的外周侧面中的至少一者的下表面设置的突出结构。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述多个分隔板和所述突出部包含以包围所述基板所堆叠的区域的上端和下端的方式设置的分隔板和突出部。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述处理容器是纵长的反应管，

所述处理容器内的所述内周壁面是设置在所述反应管内的内管的内周壁面，

在所述处理容器的周围设有用于加热所述多个基板的加热器。