[发明专利]基板制程、基板、显示面板及显示装置有效
申请号: | 201710186222.0 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN107102516B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 简重光 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/40 | 分类号: | G03F7/40;G03F7/16;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板制程 基板 显示 面板 显示装置 | ||
本发明公开一种基板制程、基板、显示面板及显示装置,所述基板制程的步骤包括:提供一基板;对所述基板进行第一光阻涂布;对经所述第一光阻涂布处理后的所述基板进行真空干燥处理;对经真空干燥处理后的所述基板进行曝光处理,并使用光罩遮挡部分所述第一光阻;对经曝光处理后的所述基板进行显影处理,形成第一光阻阵列;对经显影处理后的所述基板进行第一次热风刀处理。本发明技术方案可得到成本低且良率高的彩色滤光片基板。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种基板制程、应用该基板制程制得的基板、应用该基板的显示面板及显示装置。
背景技术
随着科技的发展,薄膜晶体管液晶显示装置(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display,FTF-LCD)以其突出的特性得到越来越广泛的应用。彩色滤光片基板(Colour fliter,简写CF)是FTF-LCD中的一个重要组件,其主要功能是让液晶显示器能产生彩色画面。目前,制备彩色滤光片基板的步骤中,最后的烘烤过程一方面耗电高,造成成本高;同时会有胶状物质的升华物生成,该升华物易导致产品报废,且不易清理设备。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种基板制程,旨在得到一种成本低且良品率高的基板。
为实现上述目的,本发明提出的基板制程,所述制程包括步骤:
提供一基板;
对所述基板进行第一光阻涂布;
对经所述第一光阻涂布处理后的所述基板进行真空干燥处理;
对经真空干燥处理后的所述基板进行曝光处理,并使用光罩遮挡部分第一光阻;
对经曝光处理后的所述基板进行显影处理,形成第一光阻阵列;
对经显影处理后的所述基板进行第一次热风刀处理。
可选地,所述第一次热风刀处理步骤中的温度范围为130~150℃。
可选地,所述第一次热风刀处理步骤中的时间范围为40~100s。
可选地,所述第一次热风刀处理步骤之后还包括以下步骤:进行第二光阻涂布;对经所述第二光阻涂布处理后的所述基板进行真空干燥处理;对经真空干燥处理后的基板进行曝光处理,并使用光罩遮挡部分所述第二光阻;对经曝光处理后的所述基板进行显影处理,形成第二光阻阵列;对经显影处理后的所述基板进行第二次热风刀处理。
可选地,所述第二次热风刀处理步骤之后还包括以下步骤:进行第三光阻涂布;对经所述第三光阻涂布处理后的所述基板进行真空干燥处理;对经真空干燥处理后的所述基板进行曝光处理,并使用光罩遮挡部分所述第三光阻;对经曝光处理后的所述基板进行显影处理,形成第三光阻阵列;对经显影处理后的所述基板进行第三次热风刀处理。
可选地,所述第三次热风刀处理步骤之后还包括以下步骤:进行保护层的镀膜,所述保护层形成于第一光阻阵列、第二光阻阵列及第三光阻阵列的表面;于所述保护层的表面镀导电膜。
可选地,所述第一光阻的熔点范围为70~80℃。
本发明还提出一种基板,所述基板采用上述的基板制程制成,包括本体、设于所述本体表面并形成有阵列式凹槽的黑色树脂层、依次并排设于阵列式凹槽中的第一光阻阵列、第二光阻阵列与第三光阻阵列、及依次重叠设于所述第一光阻阵列、所述第二光阻阵列与所述第三光阻阵列表面的保护层与导电膜。
本发明还提出一种显示面板,包括第一基板与第二基板、及夹设于两者之间的液晶层,所述第一基板为上述的基板。
本发明还提出一种显示装置,包括如上述的显示面板与背光模组,所述背光模组靠近所述第二基板的一侧设置。
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