[发明专利]一种化学湿法减薄黑磷的方法及其应用

权利要求书

1.化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：包括以下步骤：将片状黑磷浸入减薄溶液中于室温20-25℃浸泡，所述减薄溶液的溶质为摩尔比为(1-50)：(1-50)的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳，溶剂为二氯甲烷溶液，浸泡5min-7h后，取出样品、洗涤干燥。

2.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述片状黑磷由块状黑磷通过机械剥离或超声、机械搅拌的方式分解而成。

3.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述浸泡时间为30-100min。

4.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述洗涤溶剂为二氯甲烷或异丙醇。

5.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述干燥作业采用氮气枪吹扫完成。

6.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述减薄溶液为等摩尔比的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳的二氯甲烷溶液。

7.根据权利要求1所述的化学湿法减薄黑磷的方法，其特征在于：所述减薄溶液的溶质为10mmol的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和10mmol的三苯基四氟硼酸碳，所述减薄溶液的溶剂为2mL二氯甲烷。

8.如权利要求1-7中任一项的减薄黑磷的方法在制备晶体管上的应用，其特征在于：制得的晶体管的开关比为10⁶，亚阈值摆幅为450mV/decade，源漏电压差在-40mV-40mV范围内，源漏电流随源漏电压成线性变化，且高度对称。

9.一种减薄溶液在减薄黑磷上的应用，其特征在于：所述减薄溶液的溶质为摩尔比为(1-50)：(1-50)的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳，溶剂为二氯甲烷溶液。

10.根据权利要求9所述的一种减薄溶液在减薄黑磷上的应用，其特征在于：减薄溶液的溶质为等摩尔比的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳。