[发明专利]树脂成型装置及方法、运膜辊及树脂成型装置用供膜装置在审
申请号: | 201710141418.8 | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN107275232A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 山田哲也;後藤智行;市桥秀男 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/677 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 崔今花,周艳玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 成型 装置 方法 运膜辊 用供膜 | ||
1.一种树脂成型装置,使用在彼此相对配置的第一模和第二模中的至少一个模上设置有型腔的成型模,并对所述成型模进行合模来进行树脂成型,
所述树脂成型装置的特征在于,具备:
送出机构,用于向所述第一模与所述第二模之间送出膜;
卷取机构,用于从所述第一模与所述第二模之间卷取所述膜;
第一辊,被设置在所述送出机构侧;
第二辊,被设置在所述卷取机构侧;和
主筒状部件,在所述第一辊的旋转轴和所述第二辊的旋转轴中的至少一个旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述主筒状部件,
在多个所述主筒状部件中,外侧的主筒状部件的外径大于内侧的主筒状部件的外径,
多个所述主筒状部件相对于各自所在的旋转轴能够装卸。
2.根据权利要求1所述的树脂成型装置,
所述主筒状部件的表面被实施表面加工以加大动摩擦系数。
3.根据权利要求1所述的树脂成型装置,
设置有能够加热所述膜的加热器,所述加热器位于所述第一辊和所述第二辊中的至少一个辊中。
4.根据权利要求1所述的树脂成型装置,具备:
第三辊,被设置在所述第二辊与所述卷取机构之间;和
副筒状部件,在所述第三辊的旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述副筒状部件,
在多个所述副筒状部件中,外侧的副筒状部件的外径大于内侧的副筒状部件的外径,
多个所述副筒状部件分别相对于所述第三辊的旋转轴能够装卸。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的树脂成型装置,具备:
至少一个成型模块,所述成型模块具有所述成型模和对所述成型模进行合模的合模机构,
一个所述成型模块和其它成型模块能够装卸。
6.一种树脂成型方法,使用在彼此相对配置的第一模和第二模中的至少一个模上设置有型腔的成型模,并对所述成型模进行合模来进行树脂成型,
所述树脂成型方法的特征在于,包括:
使用第一辊向所述第一模与所述第二模之间送出膜的工序;和
使用第二辊从所述第一模与所述第二模之间卷取所述膜的工序,
在所述送出的工序和所述卷取的工序中的至少一个工序中使用筒状部件,在所述第一辊的旋转轴和所述第二辊的旋转轴中的至少一个旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述筒状部件,在多个所述筒状部件中,外侧的筒状部件施加到所述膜的力大于内侧的筒状部件施加到所述膜的力,
多个所述筒状部件相对于各自所在的旋转轴能够装卸。
7.一种运膜辊,在树脂成型装置中被使用,所述运膜辊的特征在于:
具备筒状部件,在所述运膜辊的旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述筒状部件,
在多个所述筒状部件中,外侧的筒状部件的外径大于内侧的筒状部件的外径,
多个所述筒状部件分别相对于所述旋转轴能够装卸。
8.根据权利要求7所述的运膜辊,
在所述旋转轴中内置有加热器。
9.一种树脂成型装置用供膜装置,其特征在于,具备:
送出机构,用于送出膜;
卷取机构,用于卷取所述膜;
第一辊,被设置在所述送出机构侧;
第二辊,被设置在所述卷取机构侧;
多个筒状部件,在所述第一辊的旋转轴和所述第二辊的旋转轴中的至少一个旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述筒状部件,
在多个所述筒状部件中,外侧的筒状部件的外径大于内侧的筒状部件的外径,
多个所述筒状部件相对于各自所在的旋转轴能够装卸。
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