[发明专利]光烧结装置及利用其的导电膜形成方法

权利要求书

1.一种光烧结装置，其特征在于，包括：

第1发光部，其发散第1光；

一对第2发光部，其分别发散第2光，彼此相对配置，而且所述第1发光部配置在所述一对第2发光部之间；以及

反射罩，其下部面的中心部配置于所述第1发光部的上方，包括一对主弯曲部及一对辅助弯曲部，反射所述第1光及所述第2光中向上发散的光，其中所述一对主弯曲部分别具有向上弯曲的形状且以沿着长度方向通过所述中心部的中心线为基准左右对称，所述一对主弯曲部的一端分别与所述中心线相接，所述一对辅助弯曲部分别具有向上弯曲的形状且一端分别与一对所述主弯曲部的另一端相接，配置于所述第2发光部的上方，

所述第1发光部位于所述一对主弯曲部相接的接点即所述中心线下方，所述第2发光部位于与所述第1发光部不同的平面。

2.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于：

所述第1发光部及所述第2发光部分别是氙灯、红外线灯及紫外线灯中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于：

所述第1发光部及所述第2发光部的横截面的直径为100mm以下。

4.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于：

从所述中心部到所述第1发光部的中心的垂直距离为100mm以下，

从所述中心部到所述第2发光部的中心的垂直距离为50mm以下。

5.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于：

所述主弯曲部是圆弧半径为10～100mm的圆弧形状，

连接所述主弯曲部的两端的弦的长度为10～200mm。

6.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于：

所述辅助弯曲部是圆弧半径为1～100mm的圆弧形状。

7.根据权利要求1所述的光烧结装置，其特征在于，还包括：

一对反射壁，是分别从所述辅助弯曲部的两端向下延伸的形状，反射所述第1光及所述第2光中至少一个光使得照射到被处理物。

8.根据权利要求7所述的光烧结装置，其特征在于：

所述反射壁的配置方向相对于所述主弯曲部或所述辅助弯曲部垂直，

从所述中心部到所述反射壁的末端的垂直距离为300mm以下。

9.根据权利要求7所述的光烧结装置，其特征在于，还包括：

固定部，其配置在与所述反射壁的末端相隔的下侧位置固定被处理物。

10.根据权利要求7所述的光烧结装置，其特征在于，还包括：

滤光器，其配置在比所述第1发光部、所述第2发光部靠下的位置。

11.一种光烧结装置，其特征在于，包括：

一对主弯曲部，其下部面的中心部配置在照射光的第1发光部的上方，分别具有向上弯曲的形状且以沿着长度方向通过所述中心部的中心线为基准左右对称，所述一对主弯曲部的一端分别与所述中心线相接；以及

一对辅助弯曲部，分别具有向上弯曲的形状且一端与所述一对主弯曲部的另一端相接，配置在照射光的第2发光部的上方，

所述第1发光部位于所述一对主弯曲部相接的接点即所述中心线下方，所述第2发光部位于与所述第1发光部不同的平面。

12.一种光烧结装置，其特征在于，包括：

中心弯曲部，其下部面的中心部配置在照射光的第1发光部的上方，具有向上鼓起的形状；

一对主弯曲部，分别具有向上弯曲的形状且以所述中心弯曲部为基准左右对称，所述一对主弯曲部的一端分别与所述中心弯曲部的各一端相接；以及

一对辅助弯曲部，是从所述主弯曲部的左侧端部及右侧端部延伸且向上弯曲的形状，配置在照射光的第2发光部的上方，

所述第1发光部位于所述中心弯曲部的中心下方，所述第2发光部位于与所述第1发光部不同的平面。