[发明专利]图像传感器及其形成方法、图像传感器母板、指纹成像模组

说明书

一种图像传感器及其形成方法、图像传感器母板、指纹成像模组，所述图像传感器包括：基底；像素阵列，位于所述基底上，所述像素阵列包括呈阵列排布的多个像素单元；封装结构层，位于所述像素阵列上，所述封装结构层用于实现所述像素阵列的封装隔离，并对透射所述像素阵列的光线起准直作用。本发明技术方案能够减少切割后的加工工艺，提高所形成图像传感器的信噪比。

技术领域

本发明涉及指纹成像领域，特别涉及一种图像传感器及其形成方法、图像传感器母板、指纹成像模组。

背景技术

指纹识别技术是通过图像传感器采集到人体的指纹图像，然后与指纹识别系统里已有的指纹信息进行比对，从而实现身份识别的技术。由于其便捷性和人体指纹的唯一性，指纹识别技术已经大量应用于各个领域，比如：公安局、海关等安检领域，楼宇的门禁系统，以及个人电脑和手机等消费品领域等等。

指纹识别技术中所采用的成像方式有光学式、电容式、超声波式等多种。其中一种是通过光学式成像模组采集人体的指纹图像。光学式成像模组主要包括：保护盖板、图像传感器、集成芯片(IC)、柔性电路板(FPC)和柔性电路板上的电子器件(包括光源LED)、导光板、上保护壳体以及下保护壳体等主要部件。其中图像传感器是利用非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)、低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)或氧化物半导体薄膜晶体管(OS TFT)等半导体工艺技术，在玻璃基底上制作的；之后经过切割、点胶、粘接等过程实现封装。

但是现有技术中，形成图像传感器的方法存在工艺精度、信号噪声大的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种图像传感器及其形成方法、图像传感器母板、指纹成像模组，以提高工艺精度，降低信号噪声。

为解决上述问题，本发明提供一种图像传感器的形成方法，包括：

提供基底；在所述基底上形成多个像素阵列，所述像素阵列包括呈阵列排布的像素单元，相邻像素阵列之间具有划片道；在所述像素阵列上形成封装结构层，所述封装结构层用于实现所述像素阵列的封装隔离，并对透射所述像素阵列的光线起到准直的作用；形成所述封装结构层之后，沿所述划片道切割所述基底，以获得所述图像传感器。

可选的，形成所述封装结构层的步骤包括：在所述基底上形成支撑层，所述支撑层内具有通光开口，所述通光开口底部露出所述像素单元；向所述通光开口内填充封装材料，形成封装块；在所述支撑层和所述封装块上形成保护层。

可选的，形成所述支撑层的步骤包括：在所述基底上进行第一成膜处理，形成支撑材料层，所述支撑材料层覆盖所述划片道和所述像素阵列；对所述支撑材料层进行第一图形化处理，去除所述划片道上的支撑材料层，并形成所述支撑层和所述通光开口；

可选的，形成所述封装块的步骤包括：在所述基底上进行第二成膜处理，形成封装材料层，所述封装材料层覆盖所述划片道并填充于所述通光开口内；对所述封装材料层进行第二图形化处理，去除所述划片道上的封装材料层，形成位于所述通光开口内的封装块；

可选的，形成所述保护层的步骤包括：在所述基底上进行第三成膜处理，形成保护材料层，所述保护材料层覆盖所述划片道、所述支撑层和所述封装块；对所述保护材料层进行第三图形化处理，去除所述划片道上的保护材料层，形成所述保护层。

可选的，所述封装块材料的折射率大于所述支撑层材料的折射率。

可选的，所述通光开口的深宽比大于1。

可选的，所述通光开口底部露出一个或多个像素单元。

可选的，所述保护层为单层结构或叠层结构。

可选的，形成封装块之后，形成保护层之前，所述形成方法还包括：形成覆盖所述封装块和所述支撑层的平坦层；形成保护层的步骤中，形成位于所述平坦层上的保护层。