[发明专利]搬运装置

说明书

本申请为分案申请；其母案的申请号为“2013800200618”，发明名称为“搬运装置”。

技术领域

本发明涉及搬运装置，其使像薄玻璃一样的基板悬浮并搬运。

背景技术

在液晶显示器所代表的平板显示器的制造中，为了不损伤像较薄的玻璃一样的基板地进行搬运，而利用使基板悬浮地搬运的搬运装置。这样的搬运装置通常具备喷出压缩空气的悬浮装置，再有还具备与悬浮的基板接触并对其施以驱动力的皮带传送机或者辊式传送机。

附着于玻璃基板的尘埃或其表面的划痕对显示器的品质有重大的影响。而形成尘埃附着或表面划痕的主要原因之一是玻璃基板与搬运装置等接触。另一方面，因为玻璃基板由于厚度例如为0.7mm或者更薄而具有可挠性，所以为了防止搬运中的接触而重视将基板保持平坦地搬运。近年来需求更薄的玻璃，要保持其平坦地搬运越来越难。

专利文献1公开了具备皮带传送机的搬运装置的技术。根据该技术，皮带具备等间隔地配置的突起，并通过突起与悬浮的玻璃基板接触而将其搬运。

专利文献2公开了具备辊式传送机的搬运装置的技术。根据专利文献2的“玻璃基板的轧制线中央部向上方较大地浮起、垂下的弯曲变得显著。”被认作技术课题。为了解决这个问题，通过由宽度方向中央位置的气动台单元调节空气供给量，来抑制玻璃基板的弯曲。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本国专利申请公开2008－066661号

专利文献2:日本国专利申请公开2008－260591号

发明内容

发明所要解决的课题

像上述一样的技术能够将玻璃基板大致平坦地保持。但是，对于像搬运方向上的前端的弯曲一样的局部的弯曲来说，还存在技术课题。即，在玻璃基板从一个辊向下一个辊移动时，或者从一个搬运装置向下一个搬运装置移动时，因为前端不受支撑，前端因自重而向下方弯曲。存在前端易于与辊或者搬运装置冲突的问题。

本发明鉴于上述问题而做成。与像上述一样的技术常识相反，本发明的发明人员提出以下方法并设计本发明，仅将玻璃基板宽度方向的两端平坦地支撑，通过使玻璃基板的中央部稍稍弯曲来抑制前端的弯曲。

用于解决课题的方法

根据本发明的第一方案，用于将对象物向第一方向搬运的搬运装置具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。

发明效果

能够防止基板的前端弯折并能够防止基板与搬运装置等冲突。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图。

图2是本实施方式的搬运装置的三视图。

图3是本实施方式的搬运部以及吸引部的横剖视图。

图4是其他的实施方式的搬运部以及吸引部的横剖视图。

图5是另外的实施方式的吸引部以及搬运部的立体图以及俯视图。

具体实施方式

以下参照附图来说明本发明的几个例示的实施方式。

本发明的实施方式的搬运装置能够适当地利用于在例如清洁室内搬运像玻璃基板一样的较薄对象物。在玻璃基板的情况下，不仅能选取厚度0.7mm左右的对象，还能选取厚度0.1～0.3mm左右的极薄的对象。

参照图1，本发明的一实施方式的搬运装置100具备使工件W(对象物)悬浮的悬浮部116和将工件W向方向X(第一方向)驱动的搬运部120。悬浮部116具备喷出气体的开口116a，喷出的气体对工件W施以正压，以使工件W悬浮。搬运部120具备被马达等向方向X驱动的多个突起114，突起114通过与工件W接触来搬运工件W。对搬运部120的详细将于后述，其通过具备吸引部128，吸引突起114周围的气体而使工件W与突起114接触。也可以不要悬浮部116而仅通过搬运部120支撑并搬运工件W。

参照图2进行更详细的说明。图2(a)是一同观察罩与搬运装置的俯视图，图2(b)、(c)是在将罩取下的状态下观察搬运装置的立视图以及侧视图。