[发明专利]石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置

权利要求书

1.一种石英管保持构造，其具有：

纵长的处理容器；

石英管，其沿着该处理容器的内壁面的长度方向，至少在该处理容器的下部与所述内壁面之间具有间隔地设置；

支承构件，其从下方支承该石英管，具有供所述石英管的下端插入的插入孔；

按压力产生器具，其在所述处理容器的下部对所述石英管的位于所述插入孔上方的部位施加从所述处理容器的内侧朝向所述内壁面的按压力来固定所述石英管。

2.根据权利要求1所述的石英管保持构造，其中，

所述石英管的上端附近与所述处理容器的所述内壁面接触或与比该内壁面向内侧隆起的支承面接触。

3.根据权利要求2所述的石英管保持构造，其中，

所述石英管的上端附近以插入到插入孔的状态与所述支承面接触。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的石英管保持构造，其中，

所述按压力产生器具设置于比所述支承构件靠上方的位置。

5.根据权利要求4所述的石英管保持构造，其中，

所述按压力产生器具固定地设置于所述支承构件的上表面。

6.根据权利要求5所述的石英管保持构造，其中，

所述按压力产生器具具有：下侧固定构件，其具有能够包围所述石英管的外周的一半以上的形状，设置于下侧；上侧按压构件，其具有能够按压所述石英管的形状，设置于上侧；以及连结构件，其将所述下侧固定构件和所述上侧按压构件连结，

在将所述下侧固定构件固定到所述支承构件的上表面时，利用所述连结构件作用有使所述上侧按压构件朝向所述处理容器的所述内壁面的弹性力，利用所述上侧按压构件对所述石英管施加所述按压力。

7.根据权利要求6所述的石英管保持构造，其中，

所述上侧按压构件的按压面在沿着按压方向的纵截面上配置于比所述下侧固定构件的内周面靠前方的位置，

在将所述下侧固定构件固定到所述支承构件的上表面时，在所述连结构件的弹性力的作用下，作用有使所述上侧按压构件朝向所述处理容器的所述内壁面的所述按压力。

8.根据权利要求6或7所述的石英管保持构造，其中，

所述上侧按压构件和所述下侧固定构件具有能够与所述石英管卡合的形状。

9.根据权利要求8所述的石英管保持构造，其中，

能够与所述石英管卡合的形状是U字形状。

10.根据权利要求9所述的石英管保持构造，其中，

所述下侧固定构件在所述U字形状的内周两侧面具有进深的长度比所述石英管的直径短的直线部分。

11.根据权利要求10所述的石英管保持构造，其中，

所述石英管具有与所述下侧固定构件的所述直线部分相对的平坦面。

12.根据权利要求6或7所述的石英管保持构造，其中，

所述下侧固定构件以与所述石英管之间具有间隙而非接触的状态固定于所述支承构件的上表面。

13.根据权利要求1～3中任一项所述的石英管保持构造，其中，

所述按压力产生器具由金属形成。

14.根据权利要求13所述的石英管保持构造，其中，

所述按压力产生器具由哈斯特洛依合金形成。

15.根据权利要求1～3中任一项所述的石英管保持构造，其中，

所述石英管是为了向所述处理容器内供给气体而设置的喷射器。