[发明专利]检查装置和激光加工装置有效
| 申请号： | 201710098265.3 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN107121433B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 武田昇;森数洋司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 激光 加工 | ||
1.一种检查装置，其中，该检查装置具有：
照明单元，其配置在透明部件的周边，从侧面对该透明部件进行照明；
拍摄单元，其与该透明部件相对地配置，对该照明单元所照明的该透明部件进行拍摄；以及
显示单元，其对该拍摄单元所拍摄的拍摄图像进行显示，
该照明单元具有：
环状板，其具有能够容纳该透明部件的内径；以及
多个光源，它们在周向上隔开间隔地配置在该环状板的一个面上，
该环状板被配置在该透明部件与支承该透明部件的环状框架之间。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
该检查装置还具有存储单元，该存储单元对该拍摄单元所拍摄的图像和根据该拍摄单元所拍摄的图像而检测出的该透明部件的裂纹的位置进行存储。
3.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：
卡盘工作台，其对透明部件进行保持；
移动单元，其使该卡盘工作台在X方向和与该X方向垂直的Y方向上移动；
激光光线照射单元，其对该卡盘工作台所保持的该透明部件照射激光光线；
照明单元，其配置在该卡盘工作台所保持的该透明部件的周边，从侧面对该透明部件进行照明；
拍摄单元，其与该卡盘工作台所保持的该透明部件相对地配置，对该照明单元所照明的该透明部件进行拍摄；以及
显示单元，其对该拍摄单元所拍摄的拍摄图像进行显示，
该照明单元具有：
环状板，其具有能够容纳该透明部件的内径；以及
多个光源，它们在周向上隔开间隔地配置在该环状板的一个面上，
该环状板被配置在该透明部件与支承该透明部件的环状框架之间。
4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，
一边由该移动单元使保持着该透明部件的该卡盘工作台移动，一边由该拍摄单元对该透明部件的一个面的整个区域进行拍摄。
5.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，
该透明部件由晶片构成，该晶片由钽酸锂或铌酸锂形成。
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