[发明专利]一种无接触插片石墨舟

权利要求书

1.一种无接触插片石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成，所述单元舟片为竖向设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应，在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔，位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的外围设有用于固定硅片的卡点，硅片贴附在凹槽和通孔上由卡点固定且硅片的周缘遮盖在凹槽和通孔的周边区域上，在该周边区域上分布有与气源相连通的喷气孔，由喷气孔喷出的保护气体对硅片施加推力而使硅片与单元舟片不接触以便避免插片时硅片与单元舟片发生摩擦。

2.根据权利要求1所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述单元舟片的数量为2～50，相邻单元舟片之间的间距为5～50mm。

3.根据权利要求2所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：位于外侧的单元舟片每一面上的凹槽的数量为5～20，位于每个中间的单元舟片上的通孔的数量为5～20，所述凹槽和通孔在单元舟片上呈阵列均匀分布，相邻凹槽之间、相邻通孔之间的间距是5～300mm。

4.根据权利要求3所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述凹槽和通孔的深度是0.5～10mm。

5.根据权利要求4所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述凹槽和通孔的周边区域的宽度是2～30mm。

6.根据权利要求5所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述喷气孔为圆形孔，所述喷气孔的直径是1～5mm。

7.根据权利要求6所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述喷气孔在凹槽和通孔的周边区域上均匀分布，相邻喷气孔之间的间距为1～10mm。

8.根据权利要求7所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述绝缘棒采用陶瓷棒。

9.根据权利要求8所述的无接触插片石墨舟，其特征在于：所述保护气体采用惰性气体或者氮气。