[发明专利]蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 201710086307.1 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN107090581B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 尹景湖;申孝燮;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡晓红;柯夏荷 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种含铜和钼膜的蚀刻液组合物，其特征在于，以组合物的总重量计，所述蚀刻液组合物包含：
18-25重量％的过氧化氢；
0.1-5重量％的蚀刻抑制剂；
0.1-4重量％的螯合剂；
包含0.01-5重量％的具有一个以上的羧基的不含氮原子有机酸和0.01-5重量％的磷酸盐的蚀刻添加剂；
0.01-5重量％的的双氧水稳定剂；
0.1-3重量％的pH调节剂；以及
使组合物的总重量成为100重量％的水；
所述蚀刻抑制剂是包含从氧、硫和氮中选择的一个以上的杂原子的、碳原子数为1至10的杂环化合物；
所述螯合剂是同时具有氨基和羧基的化合物；
所述蚀刻液组合物的pH为4至6；
所述双氧水稳定剂是烷基胺；
所述pH调节剂包含碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾和氨中的一种以上；
所述蚀刻液组合物不包括含氟类化合物。
2.根据权利要求1所述的含铜和钼膜的蚀刻液组合物，其特征在于，
所述不含氮原子有机酸选自由醋酸、甲酸、丁酸、柠檬酸、乙醇酸、草酸、丙二酸、戊酸、丙酸、酒石酸、葡萄糖酸、羟基醋酸、戊二酸、甘氨酸和琥珀酸；它们的盐；以及它们的混合物组成的组。
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